[实用新型]蒸发源装置及蒸发镀膜设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及蒸发镀膜技术领域，特别是指一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备。

背景技术

板显示包括LCD(液晶显示器)显示、OLED(有机电致发光二极管)显示、PDP(等离子显示板)显示和电子墨水显示等多种，OLED显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域、可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括PMOLED(Passive matrix Organic Light-Emitting Diode，被动矩阵有机电激发光二极管)显示和AMOLED(Active matrix Organic Light-Emitting Diode，主动矩阵有机发光二极体)显示。其中AMOLED显示的实现方式有低温多晶硅(LTPS)背板+精细金属掩膜(FMM Mask)的方式，和Oxide(氧化物)背板+WOLED(白光有机电致发光二极管)+彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板，对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应显示屏和电视等应用。现在LTPS背板+FMM Mask的方式已经初步成熟，并实现了量产。

精细金属掩膜(FMM Mask)模式，是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅(LTPS)背板上，利用FMM上的图形，形成红绿蓝器件。蒸镀是在真空环境中，将有机材料加热、蒸发，并镀到基板上，量产中使用线性蒸发源和线性坩埚。

器件的发光层通常使用两种或两种以上的材料来提高发光效率和寿命，为了确保多种材料蒸发到玻璃基板上的Profile(轮廓)重合，而不出现分层现象，传统的线性蒸发源上部采用分离式的角度板来控制蒸发材料的蒸发角度，不同的材料从各自的角度板空间中蒸发出来，并在到达玻璃基板上的途中进行混合，然后到达玻璃基板。如图1所示，每个坩埚喷嘴组102的出口处分别设置有角度板104(分离式的角度板)，坩埚的外壁设置有冷却壁103，不同的材料从各自的角度板104围成的空间中蒸发出来，并在到达玻璃基板101上的途中进行混合，然后到达玻璃基板101。但是，这种蒸发方式导致多种材料的Profile重合性并不好(通常小于80％)，使得由此制得的器件的性能较差，而且由于无加热装置，导致大量材料蒸发到角度板上，造成材料浪费，材料利用率较低(通常为20％左右)，而且材料在角度板上积累过多常常会导致材料掉落，引起坩埚喷嘴堵塞等现象，因此需要定期更换或清理角度板，导致日常清理维护比较繁琐。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备，以解决多种材料的Profile重合性不好和/或蒸发材料利用率低的技术问题。

基于上述目的，本实用新型提供的蒸发源装置包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。

在本实用新型的一些实施例中，所述喷嘴组的四周分别设置有角度板，所述喷嘴组四周的角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板设置有用于使所述角度板温度升高的电热元件。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板的内部为中空结构，所述电热元件设置于所述中空结构中。

在本实用新型的一些实施例中，所述电热元件选自电热丝、电热合金、微波加热器件、电热板、云母发热器件中的至少一种；和/或

所述角度板朝向所述喷嘴组的一侧为陶瓷板和/或金属板。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板在背离所述喷嘴组的另一侧设置有冷却板。

在本实用新型的一些实施例中，所述冷却板的内部与循环冷却水连通；和/或

所述冷却板的内部填充有冷却剂。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板的开合角度可调。

在本实用新型的一些实施例中，所述角度板的端部与加热装置的外壁铰接，所述角度板的端部能够绕着铰接处转动。

本实用新型还提供一种蒸发镀膜设备，包括上述任意一个实施例中的蒸发源装置。