[实用新型]传输装置监控系统有效
| 申请号： | 201720101638.3 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN206639778U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 王刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型揭示了一种传输装置监控系统，包括光发射器，所述光发射器发出一光；光接收器，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的量的弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置。当传输装置静止时，所述光照射到所述接收面的量多；当所述传输装置移动时，所述传输装置带动所述弹性单元发生弹性形变，使所述光接收器接收所述光的量减少，因此可以根据所述光接收器接收所述光的量监控所述传输装置的运动状况，对传输装置的寿命周期进行监控。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 装置 监控 系统 | ||
【主权项】：
一种传输装置监控系统，其特征在于，用于监控一传输装置的运动振幅，所述传输装置监控系统包括：光发射器，连接所述传输装置，所述光发射器发出一光；光接收器，连接所述传输装置，所述光接收器具有用于接收所述光的接收面；以及根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的情况的弹性单元，所述弹性单元连接所述传输装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720101638.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种大尺寸固晶板放置装置
- 下一篇：晶圆盒测试装置、晶圆盒监测系统
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
