[实用新型]传输装置监控系统有效
申请号: | 201720101638.3 | 申请日: | 2017-01-25 |
公开(公告)号: | CN206639778U | 公开(公告)日: | 2017-11-14 |
发明(设计)人: | 王刚 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 300385 天津市西青*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传输 装置 监控 系统 | ||
1.一种传输装置监控系统,其特征在于,用于监控一传输装置的运动振幅,所述传输装置监控系统包括:
光发射器,连接所述传输装置,所述光发射器发出一光;
光接收器,连接所述传输装置,所述光接收器具有用于接收所述光的接收面;以及
根据所述传输装置的运动改变所述光接收器接收所述光的情况的弹性单元,所述弹性单元连接所述传输装置。
2.如权利要求1所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述传输装置监控系统还包括:
移动靶,所述移动靶中设置有一槽;
当所述传输装置静止时,所述光从所述槽中穿过,并照射到所述光接收器的接收面。
3.如权利要求2所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述移动靶通过所述弹性单元连接所述传输装置。
4.如权利要求3所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述移动靶的底端连接所述弹性单元。
5.如权利要求2所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述槽为环形槽。
6.如权利要求5所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述槽位于所述移动靶的侧壁处。
7.如权利要求5所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述槽为圆环形槽或方环形槽。
8.如权利要求5所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述移动靶为圆柱形或方柱形。
9.如权利要求5所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述传输装置监控系统还包括:
至少一改变所述光在所述槽内传播方向的反射板。
10.如权利要求9所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述反射板设置在所述移动靶外,并与所述槽相对。
11.如权利要求9所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述传输装置监控系统包括三个所述反射板,所述光在每个所述反射板处的传播方向改变90°。
12.如权利要求2所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述槽具有两相邻的斜面,当所述传输装置震动时,至少部分所述光照射到所述斜面上,所述光接收器的接收面接收到的光减少或接受不到所述光。
13.如权利要求2所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述槽具有一曲面,当所述传输装置震动时,至少部分所述光照射到所述曲面上,所述光接收器的接收面接收到的光减少或接受不到所述光。
14.如权利要求1所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述光发射器通过所述弹性单元连接所述传输装置。
15.如权利要求1所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述光接收器通过所述弹性单元连接所述传输装置。
16.如权利要求1至15中任意一项所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述弹性单元通过一固定座固定在所述传输装置上。
17.如权利要求1所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述光发射器为激光发射器。
18.如权利要求1所述的传输装置监控系统,其特征在于,所述弹性单元为弹簧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造