[实用新型]线性蒸发源堵口疏通装置有效
| 申请号： | 201720099135.7 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206570392U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李本龙 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 郭云梅 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于OLED显示器件制备技术领域，具体涉及一种线性蒸发源堵口疏通装置。其包括若干设置于蒸镀腔室内且与线性蒸发源的喷嘴相对应设置的气流支管，每根所述气流支管上分别设置有分控制阀；所述线性蒸发源的喷嘴处分别设置有压强感应器；所述气流支管连接有供气总管，所述供气总管伸出至所述蒸镀腔室外部且连接高压气源，所述供气总管上设置有总控制阀。本实用新型能够及时察觉并解决生产过程中的喷嘴堵口问题，大大节约了处理问题的时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 蒸发 堵口 疏通 装置 | ||
【主权项】：
线性蒸发源堵口疏通装置，其特征在于：包括若干设置于蒸镀腔室(1)内且与线性蒸发源(2)的喷嘴(21)相对应设置的气流支管(3)，每根所述气流支管(3)上分别设置有分控制阀(4)；所述线性蒸发源(2)的喷嘴(21)处分别设置有压强感应器(5)；所述气流支管(3)连接有供气总管(6)，所述供气总管(6)伸出至所述蒸镀腔室(1)外部且连接高压气源(7)，所述供气总管(6)上设置有总控制阀(8)。
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