[实用新型]线性蒸发源堵口疏通装置

说明书

技术领域

本实用新型属于OLED显示器件制备技术领域，具体涉及一种OLED显示器件蒸镀工艺中所需的线性蒸发源堵口疏通装置。

背景技术

有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。

OLED显示器件包括：基板，形成于基板上的OLED器件及与基板贴合设置的封装盖板，所述OLED器件包括形成于基板上的阳极、形成于阳极上的有机功能层以及形成于有机功能层上的阴极，阳极与阴极激发有机功能层以实现显示。其中，OLED器件的有机功能层一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层(Hole Transport Layer，HTL)、发光功能层(Emissive Layer，EML)、电子传输功能层(Electron Transport Layer，ETL)。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其功能相近，故统称为空穴传输功能层和电子传输功能层。

目前，制备OLED显示器件主流的方式是真空加热镀膜，即在蒸镀机内通过加热使OLED材料蒸镀到基板上，目前线源蒸镀机相对于点源蒸镀机具有生产效率高，材料利用率高，成膜均匀性高等优点，但存在喷嘴的Clogging即堵口现象，不利于成膜均匀性的提高。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种能够及时察觉并解决生产过程中的喷嘴堵口问题、利于提高生产效率的线性蒸发源堵口疏通装置。

为实现上述技术目的，本实用新型采用以下的技术方案：

线性蒸发源堵口疏通装置，包括若干设置于蒸镀腔室内且与线性蒸发源的喷嘴相对应设置的气流支管，每根所述气流支管上分别设置有分控制阀；所述线性蒸发源的喷嘴处分别设置有压强感应器；

所述气流支管连接有供气总管，所述供气总管伸出至所述蒸镀腔室外部且连接高压气源，所述供气总管上设置有总控制阀。

作为优选，所述线性蒸发源包括设置于所述蒸镀腔室内的坩埚，所述坩埚的蒸发口处设置有蒸发过渡管，所述蒸发过渡管连接有与所述气流支管相平行设置的蒸发分配管，所述蒸发分配管上沿管体方向设置有一排用于喷出蒸镀材料的喷嘴。

作为优选，所述喷嘴的上方设置有挡板，所述气流支管设置于所述挡板上。

由于采用上述技术方案，本实用新型具有至少以下有益效果：当喷嘴发生堵口现象时，通过压强感应器感应到堵口的发生，进而进行挡板(Cell Shutter)闭合的动作，待各气流支管与喷嘴对应之后，开启总控制阀与对应发生堵口现象喷嘴的分控制阀，冲入高压缩氮气，利用高压缩氮气的冲击力使得发生堵口的喷嘴堵塞被冲破，进而可以继续生产而不用进行开腔，冲入氮气之后会造成压强变高，但是由于冲入的是微量惰性气体氮气，冲完之后在真空泵的稍微抽气之后蒸镀环境便可以复原，大大节约了处理问题的时间，提高了生产效率。

附图说明

以下附图仅旨在于对本实用新型做示意性说明和解释，并不限定本实用新型的范围。其中：

图1是本实用新型实施例的结构示意图。

图中：1-蒸镀腔室；2-线性蒸发源；21-喷嘴；22-坩埚；23-蒸发过渡管；24-蒸发分配管；3-气流支管；4-分控制阀；5-压强感应器；6-供气总管；7-高压气源；8-总控制阀；9-挡板；10-基板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，进一步阐述本实用新型。在下面的详细描述中，只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例。毋庸置疑，本领域的普通技术人员可以认识到，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，附图和描述在本质上是说明性的，而不是用于限制权利要求的保护范围。