[实用新型]线性蒸发源堵口疏通装置有效
| 申请号： | 201720099135.7 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206570392U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李本龙 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 郭云梅 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线性 蒸发 堵口 疏通 装置 | ||
【权利要求书】：
1.线性蒸发源堵口疏通装置，其特征在于：包括若干设置于蒸镀腔室(1)内且与线性蒸发源(2)的喷嘴(21)相对应设置的气流支管(3)，每根所述气流支管(3)上分别设置有分控制阀(4)；所述线性蒸发源(2)的喷嘴(21)处分别设置有压强感应器(5)；
所述气流支管(3)连接有供气总管(6)，所述供气总管(6)伸出至所述蒸镀腔室(1)外部且连接高压气源(7)，所述供气总管(6)上设置有总控制阀(8)。
2.如权利要求1所述的线性蒸发源堵口疏通装置，其特征在于：所述线性蒸发源(2)包括设置于所述蒸镀腔室(1)内的坩埚(22)，所述坩埚(22)的蒸发口处设置有蒸发过渡管(23)，所述蒸发过渡管(23)连接有与所述气流支管(3)相平行设置的蒸发分配管(24)，所述蒸发分配管(24)上沿管体方向设置有一排用于喷出蒸镀材料的喷嘴(21)。
3.如权利要求1或2所述的线性蒸发源堵口疏通装置，其特征在于：所述喷嘴(21)的上方设置有挡板(9)，所述气流支管(3)设置于所述挡板(9)上。
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