[实用新型]一种半导体激光器芯片的测试系统有效
申请号: | 201720085278.2 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN206546413U | 公开(公告)日: | 2017-10-10 |
发明(设计)人: | 胡海;刘文斌;王泰山;李成鹏;方继林 | 申请(专利权)人: | 深圳清华大学研究院;深圳瑞波光电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 518000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体激光器芯片的测试系统,包括测试柜、测试电源、冷却子系统、稳定监控子系统和计算机处理子系统;测试柜包括装载平台,多个待测试的芯片组件放置在装载平台上;测试电源用以多个待测试的芯片组件提供测试电流;冷却子系统用于向装载平台提供循环冷却液体,以为芯片组件的测试提供稳定可靠的温度;温度监控子系统用于监控装载平台和循环冷却液体的温度;计算机处理子系统用以控制冷却子系统提供具有稳定可靠的温度的循环冷却液,并根据温度监控子系统所监控的结果,向测试电源发出相应的控制指令。通过上述方式,本实用新型能够高测试的安全性,避免因半导体激光器芯片组件意外失效带来的损失。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体激光器 芯片 测试 系统 | ||
【主权项】:
一种半导体激光器芯片的测试系统,其特征在于,包括:测试柜,其包括装载平台,多个待测试的芯片组件放置在所述装载平台上;测试电源,用以所述多个待测试的芯片组件提供测试电流;冷却子系统,用于向所述装载平台提供循环冷却液体,以为所述芯片组件的测试提供稳定可靠的温度;温度监控子系统,用于监控所述装载平台和循环冷却液体的温度;计算机处理子系统,分别与所述测试电源、冷却子系统以及温度监控子系统连接,用以控制所述冷却子系统提供具有稳定可靠的温度的循环冷却液,并根据所述温度监控子系统所监控的结果,向所述测试电源发出相应的控制指令。
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