[实用新型]一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器有效
| 申请号： | 201720075204.0 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206399560U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 徐中林 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔纬联科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01L5/00 |
| 代理公司： | 杭州知瑞知识产权代理有限公司33271 | 代理人： | 欧阳海燕 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，本实用新型涉及智能硬件传感技术领域；下金属电极层的下部设有下柔性材料基底载体，下金属电极层的上部设有下绝缘环形支撑架，下绝缘环形支撑架的内部设有下绝缘环形支撑环空腔孔，下绝缘环形支撑架的上部设有驻极体薄膜电极，驻极体薄膜电极的上部设有驻极体薄膜，驻极体薄膜的上部设有上绝缘环形支撑架，上绝缘环形支撑架的内部设有上绝缘环形支撑环空腔孔，上绝缘环形支撑架的上部设有上金属电极层，上金属电极层的上部设有上柔性材料基底载体。发出的电压及电流相比其它原理高，更便于传感器使用；充分利用器件结构的空腔以及支撑架子的弹性，能够极大提高器件的灵敏性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驻极体 驱动 碰撞 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：它包含下柔性材料基底载体、下金属电极层、下绝缘环形支撑架、驻极体薄膜电极、驻极体薄膜、上绝缘环形支撑架、上金属电极层、上柔性材料基底载体；下金属电极层的下部设有下柔性材料基底载体，下金属电极层的上部设有下绝缘环形支撑架，下绝缘环形支撑架的内部设有下绝缘环形支撑环空腔孔，下绝缘环形支撑架的上部设有驻极体薄膜电极，驻极体薄膜电极的上部设有驻极体薄膜，驻极体薄膜的上部设有上绝缘环形支撑架，上绝缘环形支撑架的内部设有上绝缘环形支撑环空腔孔，上绝缘环形支撑架的上部设有上金属电极层，上金属电极层的上部设有上柔性材料基底载体。
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