[实用新型]一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器

权利要求书

1.一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：它包含下柔性材料基底载体、下金属电极层、下绝缘环形支撑架、驻极体薄膜电极、驻极体薄膜、上绝缘环形支撑架、上金属电极层、上柔性材料基底载体；下金属电极层的下部设有下柔性材料基底载体，下金属电极层的上部设有下绝缘环形支撑架，下绝缘环形支撑架的内部设有下绝缘环形支撑环空腔孔，下绝缘环形支撑架的上部设有驻极体薄膜电极，驻极体薄膜电极的上部设有驻极体薄膜，驻极体薄膜的上部设有上绝缘环形支撑架，上绝缘环形支撑架的内部设有上绝缘环形支撑环空腔孔，上绝缘环形支撑架的上部设有上金属电极层，上金属电极层的上部设有上柔性材料基底载体。

2.根据权利要求1所述的一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：所述的驻极体薄膜为单面电极的针尖高压极化式驻极体薄膜。

3.根据权利要求1所述的一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：所述的驻极体薄膜两端的电极空间距离为1μm-100mm。

4.根据权利要求1所述的一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：所述的下金属电极层和上金属电极层为输出导线。

5.根据权利要求1所述的一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：所述的上金属电极层和驻极体薄膜电极为输出导线。

6.根据权利要求1所述的一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：所述的下金属电极层与驻极体薄膜电极为输出导线。

7.根据权利要求1所述的一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：所述的下绝缘环形支撑架和上绝缘环形支撑架的厚度均为0.2mm-3mm，面积均为0.2cm²-10cm²。

8.根据权利要求1所述的一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：所述的下柔性材料基底载体与上柔性材料基底载体的厚度均为10μm-2mm，其面积分别为下绝缘环形支撑架与上绝缘环形支撑架面积的1.2-2倍。

9.根据权利要求1所述的一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：所述的驻极体薄膜的厚度为10μm-10mm。

10.根据权利要求1所述的一种驻极体自驱动微碰撞压力传感器，其特征在于：所述的驻极体薄膜电极的厚度为1nm-2μm。