[实用新型]一种制备钴氧化物的装置

摘要

一种制备钴氧化物的装置，包括蒸发室、溶液罐、沉降室，以及与沉降室相连接三通管，蒸发室上盖与溶液罐通过脉冲喷咀连接，与压力表通过压力传感器连接，还与流量计连接；脉冲喷咀与脉冲发生器连接；沉降室内设加热台，加热台上放置衬底；蒸发室外侧包覆加热带，温控仪分别与加热带连接，还与加热台通过热电偶连接；三通管一端放于冷肼内。本装置的优点是重复性好，产品在衬底表面各处分布均匀，纯度高。

主权项

一种制备钴氧化物的装置，包括蒸发室（1）、溶液罐（4）、气体进口，与所述蒸发室（1）连接的沉降室（2），以及与所述沉降室（2）相连接的三通管（15），其特征在于，还包括温控仪（9）、冷肼（3），所述蒸发室（1）与溶液罐（4）通过脉冲喷咀（14）连接，所述蒸发室（1）与压力表（11）通过压力传感器（12）连接，所述蒸发室（1）与所述气体进口通过流量计（5）连接，所述脉冲喷咀（14）与脉冲发生器（13）连接；所述沉降室（2）内设加热台（7），所述加热台（7）上放置衬底（6）；所述蒸发室（1）外侧包覆加热带（10），所述温控仪（9）分别与所述加热带（10）连接，还与所述加热台（7）通过热电偶连接；所述三通管（15）一端放于所述冷肼（3）内。