[实用新型]甩臂装置有效
| 申请号： | 201720005055.0 | 申请日： | 2017-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN206401276U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 向军 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L33/48 |
| 代理公司： | 常州市权航专利代理有限公司32280 | 代理人： | 袁兴隆 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区隐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种甩臂装置，包括安装平台；转台，设置在所述安装平台上并可沿着转台竖直的中心轴转动，所述转台的中心轴位置处设有竖直贯穿的第一通孔；第一驱动装置，可以驱动所述转台来回转动；转杆，穿设在所述第一通孔中，并可在所述转台带动下随所述转台转动；甩臂，其前端设有取晶端，后端和所述转杆固定连接，通过连杆结构来精确控制和驱动甩臂，这种机构的结构简单，驱动效率高，动作重复精度高且机构运动可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种甩臂装置，其特征在于，包括安装平台(1)；转台(2)，设置在所述安装平台(1)上并可沿着转台(2)竖直的中心轴转动，所述转台(2)的中心轴位置处设有竖直贯穿的第一通孔(10)；第一驱动装置，可以驱动所述转台(2)来回转动；转杆(3)，穿设在所述第一通孔(10)中，并可在所述转台(2)带动下随所述转台(2)转动；甩臂(4)，其前端设有取晶端，后端和所述转杆(3)固定连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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