[发明专利]一种等离子体射频调节方法及等离子处理装置有效
| 申请号： | 201711497750.4 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109994360B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 叶如彬;涂乐义;徐蕾;梁洁 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 朱成之 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体射频调节方法，所述调节方法通过一射频功率发生器进行，所述射频功率发生器包括一自动调频装置，所述射频功率发生器输出一脉冲射频周期信号，一控制器设置若干个连续射频调节区间，每个射频调节区间包括至少一个脉冲射频周期，所述自动调频装置在每个所述射频调节区间内进行至少一次自动调频，每个所述射频调节区间包括一开始频率和一结束频率，每一射频调节区间的开始频率为前一射频调节区间的结束频率，所述第一射频调节区间的开始频率为预设频率。本发明所述的方法可以快速调节频率，对于脉冲射频周期可以迅速找到最小反射功率对应的射频功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 射频 调节 方法 等离子 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体射频调节方法，所述调节方法通过一射频功率发生器进行，所述射频功率发生器包括一自动调频装置，所述调节方法包括如下步骤：所述射频功率发生器输出一脉冲射频周期信号；设置若干个连续射频调节区间，每个射频调节区间包括至少一个脉冲射频周期；所述自动调频装置在每个所述射频调节区间内进行至少一次自动调频，每个所述射频调节区间包括一开始频率和一结束频率，每一射频调节区间的开始频率为前一射频调节区间的结束频率，所述第一射频调节区间的开始频率为预设频率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司，未经中微半导体设备（上海）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711497750.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
