[发明专利]一种电子束物理气相沉积测温方法

摘要

一种电子束物理气相沉积测温方法，涉及测量计量技术领域，在装料盘上的任意两个工位之间，安装一个壁厚和叶片壁厚相同的测温管(1)，将热电偶的温度感应端插入测温管(1)的右端空腔(3)中，在喷涂过程，测温管(1)与叶片围绕同一轴心进行转动，但是自身不转动，测得的温度和插入叶片内腔的热电偶测得的温度近似。每炉完成涂层生产后，将测温管(1)表面的涂层去除干净后重复利用，因测温管(1)较长，便于操作，且直径较小，去除涂层只需较短时间。本发明易于操作，方便快捷，无需直接测量叶片的温度，增加了喷涂时叶片的装夹数量，提高了喷涂加工的效率。

主权项

1.一种电子束物理气相沉积测温方法，主要包括以下步骤：

1)将待喷涂的六组叶片安装在装料盘上；

2)将测温管(1)水平安装在两个叶片之间的装料盘设置的测温管安装口上并用螺钉进行固定；

3)将热电偶的温度感应端从测温管(1)的左端空腔(2)插入，并保证温度感应端和右端空腔(3)接触，将热电偶另一端安装在喷涂设备的温度处理装置中；

4)打开喷涂设备，装料盘发生转动并开始喷涂工作；

5)喷涂过程中叶片做行星轮式运动，但安装有热电偶的测温管(1)相对装料盘不动；

6)在喷涂过程中热电偶实时将测温管(1)中的温度传输到温度处理装置中，进行实时监控与记录。

2.如权利要求1所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其特征在于：测温管(1)为圆柱形或者椭圆形，总长为200‑300mm，测温管外径为10mm，测温管的左端空腔(2)长为90‑245mm，直径为4‑6mm，右端空腔(3)长度为5‑10mm，右端空腔(3)直径为2‑3mm。

3.如权利要求1或者2所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其特征在于：喷涂过程中涂料会喷在测温管(1)上。

4.如权利要求1所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其特征在于：将热电偶温度感应端安装在测温管(1)的右端空腔(3)中后，热电偶后端的线会将其顶在测温管(1)的右端空腔(3)中。

5.如权利要求4所述的一种电子束物理气相沉积测温方法，其特征在于：热电偶温度感应端在右端空腔(3)中的位置与叶片的中心位置对齐。