[发明专利]划片设备在审
申请号: | 201711452684.9 | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN109384378A | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 李峻硕;卢光硕;张喜童;姜洙浩 | 申请(专利权)人: | 塔工程有限公司 |
主分类号: | C03B33/03 | 分类号: | C03B33/03 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳;李英艳 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明实施例提供一种划片设备,其中包括:加载台;基板支撑部,其设置于所述加载台的上方,包括用于支撑基板的支撑件及用于移动所述支撑件的移动单元;及,位置测定部,用于测定设置于所述支撑件上的所述基板的至少一部分的位置,所述移动单元以由所述位置测定部测定的所述基板的至少一部分的位置为准,将所述支撑件移动以调整设置于所述支撑件上的所述基板的位置后,为了形成使得所述基板传递至所述加载台的供所述基板通过的开口而移动所述支撑件。 | ||
搜索关键词: | 支撑件 基板 加载台 位置测定部 划片设备 移动单元 移动 基板支撑部 支撑基板 开口 传递 | ||
【主权项】:
1.一种划片设备,其中包括:加载台;基板支撑部,其设置于所述加载台的上方,包括用于支撑基板的支撑件及用于移动所述支撑件的移动单元;及,位置测定部,用于测定设置于所述支撑件上的所述基板的至少一部分的位置,所述移动单元以由所述位置测定部测定的所述基板的至少一部分的位置为准,将所述支撑件移动以调整设置于所述支撑件上的所述基板的位置后,移动所述支撑件,形成使得所述基板传递至所述加载台的供所述基板通过的开口。
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