[发明专利]恒流器件及其制造方法

摘要

本发明提供一种恒流器件及其制造方法，包括元胞区和终端区两个部分，元胞区包括多个结构相同并依次连接的元胞，每个元胞包括P型掺杂衬底、N型外延层、扩散P型阱区，终端区包括槽注入后经热过程推结形成的槽内氧化层，位于N型外延层上表面的厚场氧层，本发明将器件元胞区与边缘缺陷通过槽注入形成PN结的方式相隔离，从而避免了衬底PN结边缘缺陷所导致的反向不耐压问题，本发明恒流器件通过槽注入形成PN结的方式实现终端隔离，如此形成的隔离可靠性高，在施加反向电压时由PN结承受耐压，对槽底及槽侧壁的氧化层质量要求不高。在槽质量高的情况下可以不做槽注入，仅由槽内氧化层耐压。

主权项

1.一种恒流器件，包括元胞区和终端区两个部分，所述元胞区包括多个结构相同并依次连接的元胞，每个元胞包括P型掺杂衬底(2)、N型外延层(3)，位于N型外延层(3)之中的扩散P型阱区(4)，所述扩散P型阱区(4)为两个并分别位于每个元胞的两端，位于扩散P型阱区(4)之中的第一P型重掺杂区(5)和N型重掺杂区(7)，第一P型重掺杂区(5)位于N型重掺杂区(7)的两侧，N型外延层(3)和扩散P型阱区(4)上表面设有氧化层(10)，扩散P型阱区(4)上表面与氧化层(10)之间设有N型耗尽型沟道区(6)，元胞区还包括覆盖整个元胞上表面的金属阴极(9)、位于P型掺杂衬底(2)下表面的第二P型重掺杂区(51)、位于第二P型重掺杂区(51)下表面的金属阳极(8)，所述第一P型重掺杂区(5)、N型重掺杂区(7)和金属阴极(9)形成欧姆接触，所述第二P型重掺杂区(51)和金属阳极(8)形成欧姆接触，其特征在于：所述终端区包括经热过程形成的槽内氧化层(13)，位于N型外延层(3)上表面的厚场氧层(11)。