[发明专利]恒流器件及其制造方法

权利要求书

1.一种恒流器件，包括元胞区和终端区两个部分，所述元胞区包括多个结构相同并依次连接的元胞，每个元胞包括P型掺杂衬底(2)、N型外延层(3)，位于N型外延层(3)之中的扩散P型阱区(4)，所述扩散P型阱区(4)为两个并分别位于每个元胞的两端，位于扩散P型阱区(4)之中的第一P型重掺杂区(5)和N型重掺杂区(7)，第一P型重掺杂区(5)位于N型重掺杂区(7)的两侧，N型外延层(3)和扩散P型阱区(4)上表面设有氧化层(10)，扩散P型阱区(4)上表面与氧化层(10)之间设有N型耗尽型沟道区(6)，元胞区还包括覆盖整个元胞上表面的金属阴极(9)、位于P型掺杂衬底(2)下表面的第二P型重掺杂区(51)、位于第二P型重掺杂区(51)下表面的金属阳极(8)，所述第一P型重掺杂区(5)、N型重掺杂区(7)和金属阴极(9)形成欧姆接触，所述第二P型重掺杂区(51)和金属阳极(8)形成欧姆接触，其特征在于：所述终端区包括经热过程形成的槽内氧化层(13)，位于N型外延层(3)上表面的厚场氧层(11)。

2.根据权利要求1所述的恒流器件，其特征在于：所述终端区包括槽注入后经热过程推结在槽的四周围形成的P型掺杂区(21)。

3.根据权利要求1所述的恒流器件，其特征在于：终端区还包括位于元胞区内部边缘的P型掺杂ring区(41)，整个器件最外围的扩散P型阱区(4)和P型掺杂ring区(41)连成一体。

4.根据权利要求2所述的恒流器件，其特征在于：终端区还包括位于元胞区内部边缘的P型掺杂ring区(41)，整个器件最外围的扩散P型阱区(4)和P型掺杂ring区(41)连成一体。

5.根据权利要求1所述的恒流器件，其特征在于：所述恒流器件中各掺杂类型相应变为相反的掺杂，即P型掺杂变为N型掺杂的同时，N型掺杂变为P型掺杂。

6.权利要求1所述的恒流器件的制造方法，其特征在于：所述恒流器件通过在终端区引入槽，利用槽内氧化层耐压，使得元胞区与器件边缘缺陷通过介质相隔离，实现正向恒流、反向耐高压。

7.权利要求2所述的恒流器件的制造方法，其特征在于：所述恒流器件通过在终端区引入槽，并对槽的四周围进行P型杂质注入形成的P型掺杂区(21)，使得元胞区与器件边缘缺陷通过PN结隔离的方式相隔离，实现正向恒流、反向耐高压。