[发明专利]一种共光路激光外差干涉法滚转角高精度测量装置及方法有效
| 申请号： | 201711411746.1 | 申请日： | 2017-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN108168465B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王昭;齐静雅;黄军辉;高建民;齐红泽 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于滚转角的光电测量领域，具体为一种共光路激光外差干涉法滚转角高精度测量装置，包括单频稳频激光器、消偏振分光棱镜、偏振分光棱镜和直角棱镜；消偏振分光棱镜的透射光轴和反射光轴上分别依次设置有声光调制器和反射镜；偏振分光棱镜的第二出射面依次设置有四分之一波片、二分之一波片和反射器，反射器的反射光轴上还设置有检偏器，检偏器的出射方向设置有第一光电探测器和第二光电探测器；第一光电探测器和第二光电探测器均与相位差探测器件连接，相位差探测器件连接有计算机。本发明测量装置中两测量光由同一滚转产生的相移相反，提高了测量分辨率，并且两光束的光程差小，受环境因素影响小，测量结果准确。 | ||
| 搜索关键词： | 光电探测器 滚转角 高精度测量装置 激光外差干涉法 消偏振分光棱镜 偏振分光棱镜 相位差探测器 反射光轴 依次设置 反射器 共光路 检偏器 二分之一波片 发明测量装置 环境因素影响 四分之一波片 测量分辨率 声光调制器 稳频激光器 方向设置 光电测量 透射光轴 直角棱镜 测量光 出射面 反射镜 光程差 出射 单频 滚转 相移 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种共光路激光外差干涉法滚转角高精度测量装置，其特征在于，包括单频稳频激光器(1)、设置在单频稳频激光器(1)出射光路的消偏振分光棱镜(2)、偏振分光棱镜(6)和直角棱镜(7)；消偏振分光棱镜(2)的透射光轴上依次设置有第一声光调制器(3a)和第一反射镜(5a)；第一反射镜(5a)用于将第一声光调制器(3a)的第一衍射光反射到偏振分光棱镜(6)；消偏振分光棱镜(2)反射光轴上依次设置有第二声光调制器(3b)和第二反射镜(5b)；第二反射镜(5b)用于将第二声光调制器(3b)的第二衍射光反射到偏振分光棱镜(6)；第一衍射光与第二衍射光同为正一级或同为负一级；所述偏振分光棱镜(6)的第一出射面与直角棱镜(7)的第一直角面连接，偏振分光棱镜(6)的第二出射面的方向与直角棱镜(7)的第二直角面的方向相同；偏振分光棱镜(6)的第二出射面与直角棱镜(7)的第二直角面的出射方向依次设置有四分之一波片(8)、二分之一波片(9)和反射器(10)；二分之一波片(9)的四分之一波片(8)侧还设置有检偏器(11)，检偏器(11)的出射方向还设置有第一光电探测器(12a)和第二光电探测器(12b)；第一光电探测器(12a)用于接收从偏振分光棱镜(6)的第二出射面出射并穿过四分之一波片(8)和二分之一波片(9)又经反射器(10)反射再经过二分之一波片(9)和检偏器(11)的光束；第二光电探测器(12b)用于接收从直角棱镜(7)的第二直角面出射并穿过四分之一波片(8)和二分之一波片(9)又经反射器(10)反射再经过二分之一波片(9)和检偏器(11)的光束；第一光电探测器(12a)和第二光电探测器(12b)均与相位差探测器件(13)连接，相位差探测器件(13)连接有用于根据相位差得出滚转角的计算机(14)。
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