[发明专利]真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统及方法

摘要

本发明公开了一种真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统，包括真空容器，以及设置在真空容器内的紫外灯和电子枪，紫外灯与电子枪分别设置在间隔板的两侧面上，间隔板通过旋转装置转动，紫外灯和电子枪随着间隔板转动到一定位置，紫外灯和电子枪将各自辐射的颗粒物产生带正电颗粒和带负电颗粒，在横向电场的作用下，颗粒物质移动脱离所粘附的材料，进行清除。本发明也公开了一种颗粒物清除方法。本发明利用颗粒物质真空条件下的荷电特性清除颗粒物质，无需对颗粒物质进行特殊处理，也不需要改变颗粒与粘附表面的接触状态，且清除区域有确定的边界和方向性。

主权项

1.真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统，包括真空容器，以及设置在真空容器内的紫外灯和电子枪，紫外灯与电子枪分别设置在紫外‑电子辐射间隔板的两侧面上，上述间隔板一端设置在旋转装置上并随其在真空容器中转动，旋转装置经引线通过穿真空法兰与真空容器外的旋转装置驱动装置电连接，紫外灯和电子枪分别通过引线经过穿真空法兰与真空容器外的紫外灯电源和电子枪电源电连接，随着间隔板转动到一定位置，紫外灯和电子枪将各自辐射的颗粒物产生带正电颗粒和带负电颗粒，电子枪电源调整电子枪的辐照电子能量和束流，来改变电场力的大小，由此在正电颗粒和带负电颗粒之间产生了紫外‑电子辐照边界，在边界形成了横向的电场，在其作用下，颗粒物质移动脱离所粘附的材料，进行清除，其中，旋转装置驱动装置调整旋转装置的角度，以变化扫描区域。