[发明专利]真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统及方法

权利要求书

1.真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除系统，包括真空容器，以及设置在真空容器内的紫外灯和电子枪，紫外灯与电子枪分别设置在紫外-电子辐射间隔板的两侧面上，上述间隔板一端设置在旋转装置上并随其在真空容器中转动，旋转装置经引线通过穿真空法兰与真空容器外的旋转装置驱动装置电连接，紫外灯和电子枪分别通过引线经过穿真空法兰与真空容器外的紫外灯电源和电子枪电源电连接，随着间隔板转动到一定位置，紫外灯和电子枪将各自辐射的颗粒物产生带正电颗粒和带负电颗粒，电子枪电源调整电子枪的辐照电子能量和束流，来改变电场力的大小，由此在正电颗粒和带负电颗粒之间产生了紫外-电子辐照边界，在边界形成了横向的电场，在其作用下，颗粒物质移动脱离所粘附的材料，进行清除，其中，旋转装置驱动装置调整旋转装置的角度，以变化扫描区域。

2.真空条件下基于辐射诱导电场的颗粒物清除方法，包括以下步骤：

1）在真空容器中，将紫外灯与电子枪分别固定设置在同一块间隔板的两个侧面上，使得间隔板在真空容器中绕一端转动，以调节紫外灯与电子枪的辐照区域；

2）确定好辐照区域后，调节紫外灯电源，产生准直的紫外辐照区域，受到紫外辐射的颗粒物质，在光致电子发射效应下，荷正电；

3）通过调节电子枪电源来调整电子枪的辐照电子能量和束流，生准直的电子辐照区域，受到电子辐射的颗粒物质，因电子的累积会荷负电，与上述荷正电的颗粒之间产生了紫外-电子辐照边界，在边界形成了横向的电场，且边界处的电场最大；

4）电场力克服颗粒与材料间粘附力时，则颗粒发生横向移动，移动的颗粒在运动过程中碰撞临近颗粒，会引起一系列的颗粒运动，从指定区域清除掉颗粒物质。