[发明专利]用于微纳尺度形貌及化学信息同时原位获得的近场离子源

摘要

用于微纳尺度形貌及化学信息同时原位获得的近场离子源，涉及近场离子源。设有光源、后电离源、光纤、Z轴光纤‑样品距离控制系统、样品、质量分析器和XY二维移动平台；控制系统对光纤末端与样品之间的距离调控，当光纤趋近到样品表面时通过反馈系统获得Z轴高度信息；光源发出的光束经光纤进行传输，并照射在样品表面；后电离源所产生的离子经传输进入质量分析器，通过质量分析器获得质谱谱图；通过逐点扫描的方式记录样品表面微纳尺度的形貌信息，获得其三维形貌轮廓的成像图；原位记录样品表面微区的化学信息，获得其表面化学信息的二维质谱成像图，获得空间分辨率可达微米甚至是纳米尺度，可实现分子及元素薄层的深度分析。

主权项

用于微纳尺度形貌及化学信息同时原位获得的近场离子源，其特征在于设有光源、后电离源、光纤、Z轴光纤‑样品距离控制系统、样品、质量分析器和XY二维移动平台；所述Z轴光纤‑样品距离控制系统对光纤末端与样品之间的距离进行调控，当光纤趋近到样品表面时通过反馈系统获得Z轴高度信息，并由电脑软件记录；所述光源发出的光束经光纤进行传输，并照射在样品表面，以解吸或溅射形式产生离子；后电离源所产生的离子经传输进入质量分析器，通过质量分析器获得质谱谱图；通过逐点扫描的方式记录样品表面微纳尺度的形貌信息，获得其三维形貌轮廓的成像图；同时原位记录样品表面微区的化学信息，获得其表面化学信息的二维质谱成像图，获得的空间分辨率达微米甚至是纳米尺度，同时实现分子及元素薄层的深度分析。