[发明专利]共焦测量装置有效
申请号: | 201711379400.8 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN108534682B | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 古川慎也;菅孝博;滝政宏章 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本京都府京都市下京区*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种便利性优异的共焦测量装置。共焦测量装置(1)包括:光源(10);光学系统(30),接收来自测量面的反射光;导光部(20),内置包含第1芯线(26)及第2芯线(28)的多根芯线,通过所述多根芯线来传播所述反射光;位移量测定部(40),具备分光器(42)及检测器(44),所述分光器(42)将经所述第1芯线传播的所述反射光分离为各波长成分,所述检测器(44)对应于所述分光器的分光方向而配置有多个受光元件;以及周边图像测定部(60),将经所述第2芯线传播的所述反射光成像于多个摄像元件上,生成所述测量面的测量位置的周边的图像。 | ||
搜索关键词: | 测量 装置 | ||
【主权项】:
1.一种共焦测量装置,其特征在于包括:光源;光学系统,相对于来自所述光源的照射光而配置,将所述照射光照射至测量对象物,并接收来自所述测量对象物的测量面的反射光;导光部,内置包含第1芯线及第2芯线的多根芯线,通过所述多根芯线来传播入射至所述光学系统的所述反射光;位移量测定部,具备分光器及检测器,所述分光器将经所述第1芯线传播的所述反射光分离为各波长成分,所述检测器对应于所述分光器的分光方向而配置有多个受光元件;以及周边图像测定部,具备多个摄像元件,且在所述周边图像测定部中将经所述第2芯线传播的所述反射光成像于所述多个摄像元件上,生成所述测量面的测量位置的周边的图像。
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