[发明专利]同步质量块陀螺仪有效
申请号: | 201711370873.1 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN108204806B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | I·P·普里霍德科;J·A·吉恩;J·A·格雷戈里 | 申请(专利权)人: | 美国亚德诺半导体公司 |
主分类号: | G01C19/02 | 分类号: | G01C19/02 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 周阳君 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请涉及同步质量块陀螺仪。微机械惯性装置呈现为具有通过联接器联接在一起的多个线性移动质量块,当耦合的质量块呈现反相运动时,联接器以线性方式移动。联接器沿彼此相反的方向移动,使得可移动的质量块的一侧上的一个联接器沿着第一直线方向运动,并且另一个位于可移动的质量块的相对侧上的联接器与第一线性方向相反的第二线性方向在第一直线方向上运动。联接器确保质量块的正确的反相运动。 | ||
搜索关键词: | 同步 质量 陀螺仪 | ||
【主权项】:
1.同步质量块微机电系统(MEMS)装置,包括:基板;第一检测质量块,通过第一系链耦合所述基板并被配置为平行于第一横向轴和第二横向轴中的每一个线性移动;第二检测质量块,通过第二系链耦合所述基板并被配置为平行于第一横向轴和第二横向轴中的每一个线性移动;第三检测质量块,通过第三系链耦合所述基板并被配置为平行于第一横向轴和第二横向轴中的每一个线性移动;第四检测质量块,通过第四系链耦合所述基板并被配置为平行于第一横向轴和第二横向轴中的每一个线性移动;和第一联接器,将所述第一和第二检测质量块耦合在一起,并配置为当所述第一检测质量块沿平行于第二轴的第一方向移动时平行于所述第一轴线性移动,并且所述第二检测质量块沿与平行于所述第二轴的第一方向相反的第二方向移动。
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