[发明专利]同步质量块陀螺仪

说明书

本申请涉及同步质量块陀螺仪。微机械惯性装置呈现为具有通过联接器联接在一起的多个线性移动质量块，当耦合的质量块呈现反相运动时，联接器以线性方式移动。联接器沿彼此相反的方向移动，使得可移动的质量块的一侧上的一个联接器沿着第一直线方向运动，并且另一个位于可移动的质量块的相对侧上的联接器与第一线性方向相反的第二线性方向在第一直线方向上运动。联接器确保质量块的正确的反相运动。

技术领域

本公开涉及具有多个移动质量块的微机电系统(MEMS)装置。

背景技术

陀螺仪(有时简称为“gyros”)是对旋转敏感的装置，因此可用于检测旋转。微机电系统(MEMS)陀螺仪通常包括有时被称为“检测质量块”的可移动体，施加电信号以主要沿特定轴线产生运动。这被称为驱动检测质量块，驱动检测质量块的轴有时称为“驱动轴”。当陀螺仪经历旋转时，检测质量块另外沿着不同的轴移动比驱动轴有时被称为感应轴。对于一些MEMS陀螺仪，旋转会使检测质量块沿感应轴线性移动。对于其他人，旋转会导致检测质量块旋转。检测质量块沿传感轴的运动被检测，提供陀螺仪所经历的旋转的指示。

一些MEMS陀螺仪包括机械耦合在一起的多个检测质量块。检测质量块可以耦合在一起，试图提供同步运动，同时抑制传感器驱动轴中的不希望的运动。

发明内容

微机械惯性装置呈现为具有通过联接器联接在一起的多个线性移动质量块，当耦合的质量块呈现反相运动时，联接器以线性方式移动。联接器沿彼此相反的方向移动，使得可移动的质量块的一侧上的一个联接器沿着第一直线方向运动，并且另一个位于可移动的质量块的相对侧上的联接器与第一线性方向相反的第二线性方向在第一直线方向上运动。联接器确保质量块的正确的反相运动。

在某些实施方案中，提供多质量块平衡的微机电系统(MEMS)装置，包括：基板；第一检测质量块，通过第一系链耦合所述基板并被配置为线性移动；和第二检测质量块，通过第二系链耦合所述基板并被配置为线性移动。多质量块平衡的MEMS装置还包括：第一联接器，将所述第一和第二检测质量块耦合在一起，并配置为当所述第一检测质量块沿第一方向移动时线性移动，并且所述第二检测质量块沿与平行于所述第二轴的第一方向相反的第二方向移动沿与第一方向相反的第二方向移动。

在某些实施方案中，提供操作多质量块平衡的微机电系统(MEMS)装置的方法，包括：以反相运动线性移动第一检测质量块和第二检测质量块；以及当第一和第二检测质量块以反相运动线性移动时，线性平移耦合第一和第二检测质量块的第一联接器。

在某些实施方案中，提供多质量块平衡的微机电系统(MEMS)装置，包括：基板；第一检测质量块，通过第一系链耦合所述基板并被配置为线性移动；和第二检测质量块，通过第二系链耦合所述基板并被配置为线性移动。多质量块平衡的MEMS装置还包括用于抑制第一和第二检测质量块的反相运动的构件。

在某些实施方案中，提供同步质量块微机电系统(MEMS)装置，包括：基板；第一检测质量块，通过第一系链耦合所述基板并被配置为平行于第一横向轴和第二横向轴中的每一个线性移动；第二检测质量块，通过第二系链耦合所述基板并被配置为平行于第一横向轴和第二横向轴中的每一个线性移动；第三检测质量块，通过第三系链耦合所述基板并被配置为平行于第一横向轴和第二横向轴中的每一个线性移动；和第四检测质量块，通过第四系链耦合所述基板并被配置为平行于第一横向轴和第二横向轴中的每一个线性移动。该装置还包括：第一联接器，将所述第一和第二检测质量块耦合在一起，并配置为当所述第一检测质量块沿平行于第二轴的第一方向移动时平行于所述第一轴线性移动，并且所述第二检测质量块沿与平行于所述第二轴的第一方向相反的第二方向移动。