[发明专利]一种激光焊接中羽辉微粒子的质谱分析装置有效
| 申请号： | 201711357993.8 | 申请日： | 2017-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN108010829B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 刘本康;王利 | 申请（专利权）人： | 大连民族大学 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04 |
| 代理公司： | 21235 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 赵志雄<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 116600 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本分案申请公开了一种激光焊接中羽辉微粒子的质谱分析装置，属于质谱分析技术领域。包括微粒子取样单元以及真空腔体系统，所述微粒子取样单元包括，同轴设置的取样锥、截取锥以及准直锥，所述取样锥、截取锥以及准直锥将真空腔体系统依次分隔为取样室，截取室以及离化采样室，所述取样室连接冷却系统和机械真空泵，所述截取室连接真空泵组A，所述离化采样室连接真空泵组B，激光电离装置位于离化采样室外侧，所述离化采样室内部依次设有离子提取系统、质量分析器以及离子探测器。本分案申请针对激光焊接过程中产生的羽辉的光谱信息的认识和理解上，进一步对其微粒子的成分准确而深入的认识和判断。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 焊接 中羽辉 微粒子 谱分析 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光焊接中羽辉微粒子的质谱分析装置，其特征在于，包括微粒子取样单元以及真空腔体系统，所述微粒子取样单元包括，同轴设置的取样锥(1a)、截取锥(2a)以及准直锥(3a)，冷却系统(1b)通过一个铜排线与取样锥(1a)的侧壁相连接在一起，所述取样锥(1a)、截取锥(2a)以及准直锥(3a)将真空腔体系统依次分隔为取样室(1)，截取室(2)以及离化采样室(3)，所述取样室(1)连接冷却系统(1b)和机械真空泵(1c)，所述截取室(2)连接真空泵组A(2b)，所述离化采样室(3)连接真空泵组B(3d)，激光电离装置(4)位于离化采样室(3)外侧，所述离化采样室(3)内部依次设有离子提取系统(3b)、质量分析器(3e)以及离子探测器(3c)；所述取样室(1)的工作真空度小于1000Pa，所述截取室(2)工作的真空度小于1Pa，所述离化采样室(3)工作的真空度小于0.1Pa。/n
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