[发明专利]晶圆研磨装置及废液排放管路在审
| 申请号： | 201711348687.8 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108081147A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 田得暄;林宗贤;吴龙江;辛君 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高磊;吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种晶圆研磨装置及其废液排放管路，所述废液排放管路包括至少两段排液管，所述排液管沿所述废液排放管路的延伸方向依次设置，研磨废液适于依次通过多段所述排液管被排出至外界，至少一段所述排液管由防粘材料制成；或，至少一段所述排液管的内周壁上涂覆有防粘涂层。从而能够降低该排液管在其内周壁上的表面张力和表面摩擦系数，使得研磨废液中晶圆的碎屑、研磨垫的碎屑和其他杂质不易粘附在该排液管的内周壁上，减小废液排放管路发生堵塞的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 排液管 废液排放管路 研磨装置 研磨 内周壁 废液 晶圆 碎屑 表面摩擦系数 防粘材料 防粘涂层 依次设置 研磨垫 多段 减小 两段 排出 涂覆 粘附 种晶 周壁 堵塞 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆研磨装置的废液排放管路，包括至少两段排液管，所述排液管沿所述废液排放管路的延伸方向依次设置，研磨废液适于依次通过多段所述排液管被排出至外界，其特征在于，至少一段所述排液管由防粘材料制成；或，至少一段所述排液管的内周壁上涂覆有防粘涂层。
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