[发明专利]晶圆研磨装置及废液排放管路

权利要求书

1.一种晶圆研磨装置的废液排放管路，包括至少两段排液管，所述排液管沿所述废液排放管路的延伸方向依次设置，研磨废液适于依次通过多段所述排液管被排出至外界，其特征在于，至少一段所述排液管由防粘材料制成；或，至少一段所述排液管的内周壁上涂覆有防粘涂层。

2.如权利要求1所述的废液排放管路，其特征在于，所述防粘材料为聚四氟乙烯材料；或，所述防粘涂层为聚四氟乙烯涂层。

3.如权利要求1所述的废液排放管路，其特征在于，至少一段所述排液管为排液弯管，所述排液弯管由防粘材料制成；或，所述排液弯管的内周壁上涂覆有防粘涂层。

4.如权利要求3所述的废液排放管路，其特征在于，所述排液弯管包括能够改变废液流向的至少一个折弯部和无法改变废液流向的至少一个直流部，所述折弯部的管径大于所述直流部的管径。

5.如权利要求3所述的废液排放管路，其特征在于，至少一段所述排液管为排液直管，所述排液弯管的管径大于所述排液直管的管径。

6.如权利要求4所述的废液排放管路，其特征在于，所述折弯部呈圆弧形状。

7.如权利要求4所述的废液排放管路，其特征在于，所述折弯部的弯折角度不大于90°。

8.如权利要求1－7任一项所述的废液排放管路，其特征在于，至少一段所述排液管沿水平方向延伸，沿水平方向延伸的所述排液管由防粘材料制成；或，其内周壁上涂覆有防粘涂层。

9.如权利要求1－7任一项所述的废液排放管路，其特征在于，沿废液流动方向，所述排液管所处的位置逐渐降低或保持不变。

10.一种晶圆研磨装置，包括壳体，设置于所述壳体内、适于对晶圆进行研磨的研磨平台、研磨垫和研磨头，所述壳体的底部设有出液孔，其特征在于，还包括权利要求1－9任一项所述的废液排放管路，所述废液排放管路连通所述出液孔。