[发明专利]一种平面八电极介电电泳旋转芯片及制作方法在审

专利信息
申请号: 201711348537.7 申请日: 2017-12-15
公开(公告)号: CN108106920A 公开(公告)日: 2018-06-01
发明(设计)人: 陈平;徐法旺;陈璐;王永存;张华 申请(专利权)人: 上海电机学院
主分类号: G01N1/40 分类号: G01N1/40;C12M1/42
代理公司: 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 代理人: 胡永宏
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种平面八电极介电电泳旋转芯片,包括芯片,所述芯片的平面内封装八个电极,且八个电极分布在间隔相同的八个方位角,构成一个正八边形结构,中间围成一个电极腔;所述每个电极自下而上包括基层、过渡层以及电极层。所述每个电极由凹四边形和长方形构成轴对称图形,所述电极的基底材料为非金属硅;电极的过渡层材料为金属铬,厚度为50纳米;电极的电极层材料为导电金属金,厚度为150纳米。本发明对微粒的旋转和检测更加准确,精度更高,可操作性更强。通过对照平面四电极与八电极电旋转芯片场强分布图,实现了电场的旋转,产生的场强更大。
搜索关键词: 电极 芯片 场强 介电电泳 正八边形结构 电极层材料 电旋转芯片 过渡层材料 轴对称图形 凹四边形 导电金属 电极分布 基底材料 电场 电极层 电极腔 方位角 分布图 过渡层 金属铬 四电极 封装 检测 制作 基层
【主权项】:
1.一种平面八电极介电电泳旋转芯片,其特征在于:包括芯片,所述芯片的平面内封装八个电极,且八个电极分布在间隔相同的八个方位角,构成一个正八边形结构,中间围成一个电极腔;所述每个电极自下而上包括基层、过渡层以及电极层。
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