[发明专利]片盒旋转机构和装载腔室

摘要

本发明公开了一种片盒旋转机构和装载腔室。片盒旋转机构包括支撑底座、旋转支撑座和移动组件；支撑底座能在驱动力的作用下沿竖直方向作直线运动，旋转支撑座位于支撑底座上，且旋转支撑座的一端与支撑底座的一端可旋转地连接，旋转支撑座用于装载片盒；移动组件包括导轨、移动件和弹性件，移动件连接在旋转支撑座的侧面，导轨用于固定设置在装载腔室的侧壁上；支撑底座向下移动的过程中，导轨能与移动件接触，阻挡移动件向下移动，以使得旋转支撑座由竖直位置旋转至平倒位置；弹性件用于对旋转支撑座施加使其由平倒位置旋转至竖直位置的回复力。可以使得晶片在片盒中具有准确地取片位置，提高取片良率，节约取片时间。

主权项

1.一种片盒旋转机构，其特征在于，所述片盒旋转机构包括支撑底座、旋转支撑座和移动组件；所述支撑底座能在驱动力的作用下沿竖直方向作直线运动；所述旋转支撑座位于所述支撑底座上，且所述旋转支撑座的一端与所述支撑底座的一端可旋转地连接，所述旋转支撑座用于装载片盒；所述移动组件包括导轨、移动件和弹性件，所述移动件连接在所述旋转支撑座的侧面，所述导轨用于固定设置在装载腔室的侧壁上；所述支撑底座向下移动的过程中，所述导轨能与所述移动件接触，阻挡所述移动件向下移动，以使得所述旋转支撑座由竖直位置旋转至平倒位置；所述弹性件用于对所述旋转支撑座施加使其由平倒位置旋转至竖直位置的回复力。