[发明专利]光电路交换机反射镜阵列裂纹防护

摘要

本申请涉及光电路交换机反射镜阵列裂纹防护。光电交换机在近年来在数据中心中的地位日益突出，因为它们能够快速地转发光数据信号而无需首先将那些信号转换回电域。某些光电路交换机是利用一个或多个单轴或双轴万向微机电系统(MEMS)反射镜实现的，所述单轴或双轴万向微机电系统(MEMS)反射镜的取向可被调整以将来自交换机的输入端口的光引导到交换机的期望输出端口。根据本公开的系统和方法涉及具有诸如多个截口的裂纹防护特征的微机电系统(MEMS)反射镜组件。

主权项

1.一种MEMS反射镜组件包括：反射镜衬底，所述反射镜衬底限定致动器、万向架结构、以及反射镜切口的部分，所述反射镜切口具有内周边；具有反射表面的反射镜，所述反射镜位于所述反射镜衬底的所述反射镜切口之内并通过至少一个定子与所述反射镜衬底相耦合，其中：所述反射镜由所述万向架结构支撑，所述反射镜具有限定所述反射镜的主反射平面的基本上平的表面看，当所述反射镜的所述主反射平面与所述反射镜衬底平行时，所述反射镜的周边与所述反射镜切口的所述内周边除了在所述至少一个定子处之外基本上围绕整个所述反射镜的整个周边隔开一间隙，除了在所述至少一个定子处以及在被限定在所述反射镜衬底和所述反射镜中的至少一个中的多个截口处之外，所述间隙的大小围绕所述反射镜的周边是基本上恒定的，其中，每个截口包括所述间隙向所述反射镜衬底或所述反射镜之中的延伸，并且每个截口具有介于50微米至200微米之间的长度以及介于50微米至100微米之间的宽度。