[发明专利]一种红外传感器以及红外信号强度的检测方法有效

专利信息
申请号: 201711337657.7 申请日: 2017-12-14
公开(公告)号: CN108198876B 公开(公告)日: 2019-09-13
发明(设计)人: 康晓旭 申请(专利权)人: 上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: H01L31/028 分类号: H01L31/028;H01L31/101;G01J5/00
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;陈慧弘
地址: 201210 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明揭示一种红外传感器以及红外信号强度的检测方法。所述红外传感器包括:金属层;铁电材料层,设置于所述金属层的一侧;石墨烯材料层,设置于所述铁电材料层的远离所述金属层的一侧;电极层,设置于所述石墨烯材料层的远离所述铁电材料层的一侧;红外吸收层,设置于所述电极层远离所述石墨烯材料层的一侧;热传导层,设置于所述铁电材料层、石墨烯材料层以及电极层的外侧,且分别连接所述红外吸收层和所述金属层。该红外传感器可以有效地提高红外信号强度检测的灵敏度以及准确度。
搜索关键词: 红外传感器 石墨烯材料 铁电材料层 金属层 红外信号 电极层 红外吸收层 强度检测 热传导层 准确度 灵敏度 有效地 检测
【主权项】:
1.一种红外传感器,其特征在于,所述红外传感器包括:金属层;铁电材料层,设置于所述金属层的一侧;石墨烯材料层,设置于所述铁电材料层的远离所述金属层的一侧;电极层,设置于所述石墨烯材料层的远离所述铁电材料层的一侧;红外吸收层,设置于所述电极层远离所述石墨烯材料层的一侧;且所述红外吸收层与所述电极层之间相互间隔不接触;热传导层,设置于所述铁电材料层、石墨烯材料层以及电极层的外侧,且分别连接所述红外吸收层和所述金属层。
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