[发明专利]柔性压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711308561.8 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN108225625B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 李晖;张劲杰;王磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;B82Y30/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种柔性压力传感器的制备方法，包括：制备圆锥形微阵列结构的PDMS薄膜；对碳纳米管粉末进行预处理；制备预制碳纳米管薄膜；从所述预制碳纳米管薄膜剥离出碳纳米管薄膜；将所述碳纳米管薄膜风干；将所述碳纳米管薄膜置于所述圆锥形微阵列结构的PDMS薄膜上，并在180‑220℃温度下加热20‑40分钟；制备半固化平滑PDMS薄膜；将所述半固化平滑PDMS薄膜贴合在所述碳纳米管薄膜和圆锥形微阵列结构的PDMS薄膜上，并在70‑90℃温度下加热20‑30分钟，得到柔性压力传感器。还提供一种柔性压力传感器。上述柔性压力传感器精度较高、响应时间较短且不易受干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括：将含有PDMS和交联剂的PDMS溶液涂覆在有圆锥形凹槽结构阵列的模具上，在70‑90℃温度下加热30‑60分钟，静置冷却至室温，将PDMS薄膜从模具上分离，得到圆锥形微阵列结构的PDMS薄膜；将碳纳米管粉末加入至氯化氢和过氧化氢的混合溶液中，并在55‑65℃温度下加热3.5‑4.5小时进行预处理；将经过预处理后的碳纳米管粉末加入至二甲基甲酰胺溶液中，采用微孔过滤膜抽真空渗漏，在所述微孔过滤膜上形成预制碳纳米管薄膜；将形成有所述预制碳纳米管薄膜的微孔过滤膜倾斜插入去离子水中，从所述预制碳纳米管薄膜剥离出碳纳米管薄膜；将所述碳纳米管薄膜风干后，将所述碳纳米管薄膜置于所述圆锥形微阵列结构的PDMS薄膜上，并在180‑220℃温度下加热20‑40分钟；将含有PDMS和交联剂的PDMS溶液涂覆在旋涂在硅片上，并在70‑90℃温度下加热20‑30分钟，静置冷却到室温后，得到半固化平滑PDMS薄膜；将所述半固化平滑PDMS薄膜贴合在所述碳纳米管薄膜和圆锥形微阵列结构的PDMS薄膜上，并在70‑90℃温度下加热20‑30分钟，得到三明治结构的柔性压力传感器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院深圳先进技术研究院，未经中国科学院深圳先进技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711308561.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
