[发明专利]分子泵摆阀组件安装装置在审
| 申请号： | 201711278427.8 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109882427A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 罗大龙 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D27/00;F04D29/64 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种分子泵摆阀组件安装装置，用于将分子泵摆阀组件安装至腔室底壁，分子泵摆阀组件包括滑动平台、固定设置于滑动平台上的分子泵和摆阀，滑动平台底部设有滑动轮，分子泵摆阀组件安装装置包括导向平台和导向部件，导向部件设于导向平台的上表面，当滑动轮在导向平台的上表面滑动时，导向部件用于限制滑动轮的滑动方向。分子泵摆阀和滑动平台的搬运在机台的维护空间进行，因此不存在空间限制，大大提高了分子泵摆阀组件搬运和移动过程中的可实施性和安全性；导向部件可限制分子泵摆阀组件的运动轨迹，避免其在滑动过程中跑偏，保证分子泵摆阀组件能够准确到达安装位置以及从安装位置移出，提高了安装的简便性和效率，还能够保护机台后端管路。 | ||
| 搜索关键词： | 分子泵 摆阀 导向部件 滑动平台 组件安装 导向平台 滑动轮 机台 上表面 搬运 固定设置 滑动方向 滑动过程 空间限制 腔室底壁 维护空间 移动过程 运动轨迹 组件包括 简便性 实施性 滑动 移出 保证 | ||
【主权项】：
1.一种分子泵摆阀组件安装装置，用于将所述分子泵摆阀组件安装至腔室底壁，其中，所述分子泵摆阀组件包括滑动平台、固定设置于所述滑动平台上的分子泵和摆阀，且所述滑动平台底部设有滑动轮，其特征在于，所述分子泵摆阀组件安装装置包括导向平台和导向部件，所述导向部件设于所述导向平台的上表面，当所述滑动轮在所述导向平台的上表面滑动时，所述导向部件用于限制所述滑动轮的滑动方向。
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