[发明专利]分子泵摆阀组件安装装置在审
| 申请号： | 201711278427.8 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109882427A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 罗大龙 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D27/00;F04D29/64 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子泵 摆阀 导向部件 滑动平台 组件安装 导向平台 滑动轮 机台 上表面 搬运 固定设置 滑动方向 滑动过程 空间限制 腔室底壁 维护空间 移动过程 运动轨迹 组件包括 简便性 实施性 滑动 移出 保证 | ||
1.一种分子泵摆阀组件安装装置，用于将所述分子泵摆阀组件安装至腔室底壁，其中，所述分子泵摆阀组件包括滑动平台、固定设置于所述滑动平台上的分子泵和摆阀，且所述滑动平台底部设有滑动轮，其特征在于，所述分子泵摆阀组件安装装置包括导向平台和导向部件，所述导向部件设于所述导向平台的上表面，当所述滑动轮在所述导向平台的上表面滑动时，所述导向部件用于限制所述滑动轮的滑动方向。
2.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述导向部件包括平行设置的两个导向部件主体，每个所述导向部件主体的上表面设有导向凹槽。
3.根据权利要求2所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述导向凹槽的横向剖面呈V字型。
4.根据权利要求2所述的分子泵摆阀安装装置，其特征在于，所述导向部件主体为长方体。
5.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述腔室底壁下方设置有分子泵支撑板，所述分子泵支撑板用于在安装过程中支撑所述分子泵摆阀，所述导向平台能够通过可拆卸连接件连接至所述分子泵支撑板，当所述导向平台连接至所述分子泵支撑板时，所述导向平台的上表面与所述分子泵支撑板的上表面齐平。
6.根据权利要求5所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述可拆卸连接件为螺钉。
7.根据权利要求5所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述导向部件的一端延伸至所述分子泵支撑板的上表面。
8.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述导向平台的底部设有支撑柱。
9.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述分子泵摆阀组件还包括设于所述摆阀上端的摆阀安装法兰，所述摆阀安装法兰用于通过固定连接件连接至所述腔室底壁。
10.根据权利要求1所述的分子泵摆阀组件安装装置，其特征在于，所述滑动轮通过可调固定块连接至所述滑动平台底部，所述滑动平台上设有螺纹孔，所述螺纹孔内设有调节螺钉，所述调节螺钉的端部与所述可调固定块的上端面相接触从而能够调节所述可调固定块与所述滑动平台之间的距离。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711278427.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种玻璃钢轴流通风机
- 下一篇：一种能量回收型同轴驱动离心鼓风机组
