[发明专利]分子泵摆阀组件安装装置

说明书

一种分子泵摆阀组件安装装置，用于将分子泵摆阀组件安装至腔室底壁，分子泵摆阀组件包括滑动平台、固定设置于滑动平台上的分子泵和摆阀，滑动平台底部设有滑动轮，分子泵摆阀组件安装装置包括导向平台和导向部件，导向部件设于导向平台的上表面，当滑动轮在导向平台的上表面滑动时，导向部件用于限制滑动轮的滑动方向。分子泵摆阀和滑动平台的搬运在机台的维护空间进行，因此不存在空间限制，大大提高了分子泵摆阀组件搬运和移动过程中的可实施性和安全性；导向部件可限制分子泵摆阀组件的运动轨迹，避免其在滑动过程中跑偏，保证分子泵摆阀组件能够准确到达安装位置以及从安装位置移出，提高了安装的简便性和效率，还能够保护机台后端管路。

技术领域

本发明涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种分子泵摆阀组件安装装置。

背景技术

分子泵和摆阀是真空系统设备不可或缺的两个关键部件，分子泵用于机台抽真空使用，摆阀用于工艺时控制腔室内设定压力，因此分子泵和摆阀的性能对机台的性能起到至关重要的作用。

我国相应设备与技术发展较晚，大部分设备的研发与生产仍处于相对落后的状态，此外，由于开发人员对机台部件的使用安装与后期维护没有深入的实践了解，随着国内半导体产业的快速发展，机台数量不断提升，设备的故障和后期维护问题频繁出现，其中分子泵与摆阀作为设备发生故障的热点之一，由于体积大、重量大，维护起来十分困难。

目前分子泵和摆阀的安装方式较为简单，且由于市场需求，真空系统设备在不断地向小型化方向发展，给分子泵和摆阀留出的安装与维护空间越来越小，最终导致分子泵和摆阀后期维护时拆卸与安装更为困难。由于设计人员对分子泵和摆阀缺少后期维护意识，前期设计时忽略分子泵与摆阀的频繁拆装问题，目前国内PSS设备已基本达到维护周期，客户端分子泵和摆阀均需要拆装维护。因此，如何实现分子泵和摆阀的快速精准安装与拆卸是十分关键的问题。

图1-3显示现有的分子泵摆阀的安装示意图。如图1所示，安装时，先将摆阀安装法兰101固定在摆阀102上，然后将安装有摆阀安装法兰101的摆阀102安装在分子泵103上，最后将这些组件整体安装在分子泵滑动平台104上。

分子泵103与摆阀102安装完成后，需将整体结构通过人工抬至设备平台上，如图2所示。由于整体结构较重且设备后腔室结构限制，必须先将分子泵滑动平台104的前轮201放在分子泵支撑板203上，然后抬住分子泵103和摆阀102的后端将分子泵滑动平台104的后轮202抬至分子泵支撑板203上。当分子泵滑动平台104的4个轮子都落在分子泵支撑板203上时，将分子泵摆阀整体结构推至腔室底部对应位置，由于重量和空间限制，整个操作过程十分困难且具有一定危险性。

当分子泵摆阀整体结构推至腔室302底部对应位置后，使用螺钉301穿过摆阀安装法兰101，如图3所示。由于腔室底部螺纹孔深度的限制，螺钉301的长度会有相应限制，一般不超过15mm。此外，由于搬运、推动分子泵摆阀整体结构时摆阀安装法兰101上部需要留有一定空间以防碰撞和方便操作，一般上部空间高度不小于10mm。分子泵摆阀整体结构靠旋转螺钉301实现整体的提升与固定，由于以上两个尺寸的限制，使得最初旋入腔室底部的螺钉301的旋入长度一般不超过5mm，便开始承受分子泵摆阀全部重量约148公斤，这种操作极易造成螺纹脱扣，且在固定的整个过程中螺钉301始终承受全部重量，很难保证所有螺钉受力均匀，最终固定密封时也存在密封不严的风险。

总之，现有的分子泵与摆阀的安装方法具有以下缺陷：

1、分子泵、摆阀及其它附属件总计重量约148KG，在分子泵支撑板上滑行时，由于质量较大，因此滑行方向很难控制，一旦方向失控极易造成部件撞击，损害机台零部件，又因推行动作由人工完成，因此严重时会造成人身伤害，具有一定危险性；