[发明专利]压电薄膜层叠体、压电薄膜基板、以及压电薄膜元件

摘要

本发明的目的在于提供一种位移量大并且位移量的温度依存性小的压电薄膜层叠体。压电薄膜层叠体(100)具备第一电极层(3)、被层叠于第一电极层(3)的第一中间层(4)、被层叠于第一中间层(4)的第二中间层(5)、被层叠于第二中间层(5)的压电薄膜(6)，第一中间层(4)含有K、Na以及Nb，第二中间层(5)为使压缩方向的应力产生于压电薄膜(6)的层，压电薄膜(6)含有(K,Na)NbO3。

主权项

1.一种压电薄膜层叠体，其特征在于：

具备：

第一电极层；

层叠于所述第一电极层的第一中间层；

层叠于所述第一中间层的第二中间层；以及

层叠于所述第二中间层的压电薄膜，

所述第一中间层含有K、Na以及Nb，

所述第二中间层为使压缩方向的应力产生于所述压电薄膜的层，

所述压电薄膜含有(K,Na)NbO₃。

2.如权利要求1所述的压电薄膜层叠体，其特征在于：

所述第二中间层含有无机氧化物。

3.如权利要求1所述的压电薄膜层叠体，其特征在于：

所述第二中间层含有钙钛矿型的无机氧化物。

4.如权利要求1所述的压电薄膜层叠体，其特征在于：

所述第二中间层含有选自SrRuO₃、CaRuO₃、BaRuO₃以及LaNiO₃中的至少一种钙钛矿型的无机氧化物。

5.一种压电薄膜基板，其特征在于：

包含：

权利要求1～4中任意一项所述的压电薄膜层叠体；以及

基板，

所述第一电极层位于所述基板与所述第一中间层之间。

6.一种压电薄膜元件，其特征在于：

包含：

权利要求1～4中任意一项所述的压电薄膜层叠体；以及

第二电极层，

所述第一中间层和所述第二中间层以及所述压电薄膜位于所述第一电极层与所述第二电极层之间。

7.一种压电致动器，其特征在于：

具备权利要求6所述的压电薄膜元件。

8.一种压电传感器，其特征在于：

具备权利要求6所述的压电薄膜元件。

9.一种磁头组件，其特征在于：

具备权利要求7所述的压电致动器。

10.一种磁头悬臂组件，其特征在于：

具备权利要求9所述的磁头组件。

11.一种硬盘驱动器，其特征在于：

具备权利要求10所述的磁头悬臂组件。

12.一种打印头，其特征在于：

具备权利要求7所述的压电致动器。

13.一种喷墨打印装置，其特征在于：

具备权利要求12所述的打印头。