[发明专利]一种MEMS电场传感器及其无线供能系统与方法

摘要

一种MEMS电场传感器的无线供能系统，供能方法及MEMS电场传感器。无线供能系统包括信号源、功率放大器、发射天线、接收天线、后端电路；信号源产生的高频交流信号经过功率放大器放大，然后经过发射天线转换为高频电磁波，接收天线接收高频电磁波并转为了电能，后端电路经过一系列的整流、滤波、电压电流转换为满足后端负载所需的电能；其中接收天线、后端电路和电场感应芯片、信号处理电路共同组成MEMS电场传感器。该电场传感器采用无线供能方案，解决了长期持续工作的供能问题，并且保证了电位隔离；同时，集成传感器体积微小，引起的电场畸变程度小，测量准确度高。

主权项

一种MEMS电场传感器的无线供能系统，包括信号源、功率放大器、发射天线和MEMS电场传感器；其中：所述信号源，用于提供能量信号；所述功率放大器，用于将来自信号源的能量信号功率放大；所述发射天线，用于将能量以无线信号的方式发送传播；其特征在于：所述MEMS电场传感器包括接收天线，电源后端处理电路和负载；所述接收天线用于接收所述无线信号并转换为相应电能；所述电源后端处理电路对所述相应电能进行一系列的整流、滤波，用以将所述相应电能的电压、电流转换为满足所述负载所需的电压、电流的电能形式后，稳压输出，供应所述负载的能量。