[发明专利]一种汞离子微波频标真空制备方法有效
| 申请号： | 201711265525.8 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108259039B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 王暖让;赵环;陈星;张振伟;薛潇博;张旭;杨仁福 | 申请（专利权）人： | 北京无线电计量测试研究所 |
| 主分类号： | H03L7/26 | 分类号： | H03L7/26 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 100854 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种汞离子微波频标真空制备方法，包括：将所述汞离子微波频标的真空系统封装；对所述封装真空系统检漏和补漏，直至不漏；对检漏后的真空系统利用分子泵组真空预抽；对所述预抽真空系统表面加热至200℃烘烤，同时，通过220V交流电对离子泵烘烤，二者持续烘烤一周；打开离子泵，对持续烘烤的所述预抽真空系统抽真空24±2小时；对所述高真空系统内的真空规和质谱仪除气；对钛升华泵除气，停止烘烤；每隔30分钟对钛升华泵接通48A直流电5分钟，反复操作3次，关闭钛升华泵；利用离子泵继续抽取真空24±2小时，得到超高真空系统。本发明可制备真空度为2E‑9Pa量级的超高真空系统，比现有系统提高一个数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 微波 真空 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种汞离子微波频标真空制备方法，其特征在于，包括以下步骤：对真空系统利用分子泵组真空预抽，得到真空度为10‑4Pa量级的预抽真空系统；对所述预抽真空系统表面加热至200℃烘烤，同时，通过220V交流电对离子泵烘烤，二者持续烘烤一周；打开离子泵，对持续烘烤的所述预抽真空系统抽真空24±2小时，得到高真空系统；对所述高真空系统内的真空规和质谱议除气；将烘烤温度降至130±10℃，对钛升华泵除气，然后停止烘烤；关闭分子泵组阀门，每隔30分钟对钛升华泵接通48A直电流5分钟，反复操作3次，关闭钛升华泵；利用离子泵继续抽取真空24±2小时，得到超高真空系统。
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