[发明专利]一种还原炉底盘及其涂层制备方法有效

专利信息
申请号: 201711265493.1 申请日: 2017-12-05
公开(公告)号: CN107986285B 公开(公告)日: 2018-11-20
发明(设计)人: 王体虎;黄仁忠;宗冰 申请(专利权)人: 亚洲硅业(青海)有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035;C04B35/10;C04B35/622;C23C12/00;C30B28/14;C30B29/06
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 刘振
地址: 810007 青海省*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 发明公开了一种还原炉底盘及其涂层制备方法,还原炉底盘采用不锈钢制成,底盘表面具有银涂层,可以使底盘表面保持较低的温度,进而杜绝无定型硅在底盘表面形成黑色膜层,使无定型硅以颗粒形式富集在底盘表面;底盘电极卡槽以及底盘表面绝缘面喷涂有银/氧化铝复合膜层,复合膜层使得氧化铝与基体结合强度更强,不易造成应变破裂;将外置绝缘保护变为内置绝缘保护,大幅提高了底盘与电极之间的绝缘性能;筛网表面设置有银/氧化铝复合涂层,复合涂层具有耐腐蚀、热稳定性高、耐冲刷等优点;该底盘涂层喷涂方法的优点是,涂层粒子沉积效率高,原材料的利用率可超过98%,且涂层制备过程的生产效率高。
搜索关键词: 一种 还原 底盘 及其 涂层 制备 方法
【主权项】:
1.一种还原炉底盘,采用不锈钢制成,其特征在于:在不锈钢底盘的表面喷涂有热反射涂层,在电极卡槽表面以及靠近电极卡槽的底盘银涂层表面喷涂有陶瓷涂层形成底盘表面绝缘面,在筛网表面亦喷涂有陶瓷涂层;所述热反射涂层为银涂层,所述陶瓷涂层为氧化铝涂层。
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