[发明专利]用于吸附太阳能电池片的伺服步进传输装置在审
申请号: | 201711249872.1 | 申请日: | 2017-12-01 |
公开(公告)号: | CN108074851A | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 冯伟;姚建杭;曹政;高震;高金良;蒋欣;蔡澄波;马鹏刚 | 申请(专利权)人: | 河北羿珩科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 066000 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种用于吸附太阳能电池片的伺服步进传输装置,其特征在于,包括:弓形固定座,其设置于底部,用于支撑伺服步进传输装置;支撑板,其水平放置于弓形固定座的上端面,由弓形固定座支撑;隔热板,其设置于支撑板上方;传输带,其套设于隔热板上方和弓形固定座的下方,传输带上分布有多个通孔;吸附加热板,其设置于隔热板和传输带之间,吸附加热板的上表面分布有多个吸附孔,吸附加热板的下表面分布有至少一个抽气孔,吸附孔和抽气孔之间相互连通;抽气装置,其通过抽气管路而与吸附加热板的抽气孔相连接;以及驱动机构,其用于移动传输带,其中,传输带的多个通孔的至少一部分在传送过程中与吸附加热板上表面的多个吸附孔相重叠。 | ||
搜索关键词: | 吸附 弓形 传输带 固定座 加热板 步进传输装置 伺服 抽气孔 隔热板 吸附孔 太阳能电池片 支撑板 通孔 加热板上表面 移动传输带 抽气管路 抽气装置 传送过程 驱动机构 上表面 上端面 下表面 支撑 连通 | ||
【主权项】:
1.一种用于吸附太阳能电池片的伺服步进传输装置,其特征在于,包括:至少两个弓形固定座,其设置于底部,用于支撑所述伺服步进传输装置;支撑板,其水平放置于所述弓形固定座的上端面,由所述弓形固定座支撑;隔热板,其设置于所述支撑板上方;传输带,其套设于所述隔热板上方和所述弓形固定座的下方,所述传输带上分布有多个通孔;吸附加热板,其设置于所述隔热板和所述传输带之间,所述吸附加热板的上表面分布有多个吸附孔,所述吸附加热板的下表面分布有至少一个抽气孔,吸附孔和抽气孔之间相互连通;抽气装置,其通过抽气管路而与所述吸附加热板的抽气孔相连接;以及驱动机构,其用于移动所述传输带,其中,传输带的多个通孔的至少一部分在传送过程中与吸附加热板上表面的多个吸附孔相重叠。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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