[发明专利]全自动硅片清洗机有效
| 申请号： | 201711242776.4 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107999458B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 轩云喜 | 申请（专利权）人： | 北京南轩兴达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 徐旭栋 |
| 地址： | 101118 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全自动硅片清洗机，其技术方案要点是：包括架体，架体内清洗层，清洗层内设有固定架，固定架内设有若干个清洗槽，清洗槽内设有摆放硅片的承接架，固定架上设有带动承接架摆动的驱动机构。本发明的优点是可以让硅片与清洗液充分接触碰撞摩擦，提高硅片的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种全自动硅片清洗机，包括架体(1)，其特征是：架体(1)内清洗层(111)，清洗层(111)内设有固定架(114)，固定架(114)内设有若干个清洗槽(2)，清洗槽(2)内设有摆放硅片(4126)的承接架(26)，固定架(114)上设有带动承接架(26)摆动的驱动机构。
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