[发明专利]全自动硅片清洗机

权利要求书

1.一种全自动硅片清洗机，包括架体(1)，其特征是：架体(1)设置有清洗部(11)，清洗部(11)包括清洗层(111)，清洗层(111)内设有固定架(114)，固定架(114)内设有若干个清洗槽(2)，清洗槽(2)内设有摆放硅片(4126)的承接架(26)，固定架(114)上设有带动承接架(26)摆动的驱动机构，驱动机构包括第三电机(63)、转动杆(62)、承接板(1141)、滑轨(1142)、滑板(1143)和L型提升臂（261），清洗槽(2)两侧的固定架(114)上固定有所述承接板(1141)，滑轨(1142)固定在承接板(1141)上，滑板(1143)滑动连接在滑轨(1142)上，L型提升臂（261）长边深入到清洗槽(2)中固定在承接架(26)上，L型提升臂（261）的短边固定在滑板(1143)的上表面上，转动杆(62)设在清洗槽(2)的一侧，转动杆(62)固定在固定架(114)上的轴承座(1144)内，转动杆（62）的一端连接在第三电机(63)上，转动杆（62）的两端固定有带轮(7)，清洗槽(2)远离转动杆(62)一端的两侧设有固定台(4121)，固定台(4121)上设有带轮(7)，清洗槽(2)两侧对应的带轮(7)之间通过皮带(71)连接，滑板(1143)侧壁上设有侧板(11431)，侧板(11431)上设有固定板(9)，固定板(9)将皮带(71)压紧在侧板(11431)的下表面上。

2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征是：驱动机构可以同时带动一组清洗槽(2)中的承接架(26)上升和下降，驱动机构还包括固定在导向座（92）内的导向杆(921)、第一矩形板(9211)、第二矩形板(9212)、铰接部(91)、第一异型铰接板(911)、第二异型铰接板(94)、长铰接柱(96)、第一短铰接柱(95)、第二短铰接柱(941)、转动件（81）和减速器(8)，固定架(114)在与每组槽中的第一个清洗槽(2)和最后一个清洗槽(2)侧壁对应的位置设有固定板(9)，第一个清洗槽(2)两侧的固定板(9)外表面上部设有两个平行的所述导向座(92)，最后一个清洗槽(2)两侧的固定板(9)外表面上部设有两个平行所述导向座(92)，导向杆(921)设置在导向座(92)内，导向杆(921)的上端设有第一矩形板(9211)，导向杆(921)的下端设有第二矩形板(9212)，第一矩形板(9211)的上表面分别设有承接件(93)，L型提升臂(261)的长边固定在承接架(26)上，L型提升臂(261)的短边固定在承接件(93)上，铰接部(91)设在固定板(9)外表面的下端，铰接部(91)上铰接有第一异型铰接板(911)，第一异型铰接板(911)上端铰接有与第一矩形板(9211)抵触的滚轮(9111)，长铰接柱(96)铰接在第一异型铰接板(911)的下部，长铰接柱(96)将两个同一侧的第一异型铰接板(911)连接在一起，第一固定板(9)上的第一异型铰接板（911）下端设有两根铰接点，两根铰接点一上一下，长铰接柱(96)铰接在上铰接点内，第一短铰接柱（95）铰接在下端的铰接点上，转动杆(62)转动连接第一个清洗槽(2)前方的固定架(114)上，第二异型铰接板(94)铰接在转动杆(62)的两端，第一短铰接柱（95）水平铰接在第二异型铰接板(94)的下部，第二短铰接柱（941）水平铰接在第二异型铰接板(94)的上部，第二短铰接柱（941）的另一端与套接在减速器(8)的输出轴上的转动件(81)铰接，减速器(8)与第三电机(63)连接。