[发明专利]全自动硅片清洗机有效
申请号: | 201711242776.4 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN107999458B | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 轩云喜 | 申请(专利权)人: | 北京南轩兴达电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 徐旭栋 |
地址: | 101118 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 全自动 硅片 清洗 | ||
本发明公开了一种全自动硅片清洗机,其技术方案要点是:包括架体,架体内清洗层,清洗层内设有固定架,固定架内设有若干个清洗槽,清洗槽内设有摆放硅片的承接架,固定架上设有带动承接架摆动的驱动机构。本发明的优点是可以让硅片与清洗液充分接触碰撞摩擦,提高硅片的清洗效果。
技术领域
本发明涉及一种硅片清洗设备,更具体的说涉及到一种全自动硅片清洗机。
背景技术
随着社会的发展,硅片的应用越来越广泛,有的应用于太阳能发电,有的应用于制作半导体的材料。
当前国内太阳能硅片厂商还普遍使用单槽或多槽式组合手工清洗,将硅片放到清洗液中进行浸泡,浸泡一段时间后将硅片取出。
这种清洗方式下的硅片与清洗液之间是相对静止不动的,相互之间碰撞摩擦非常少,进而硅片清洗的效果不是非常好。
发明内容
本发明的目的是提供一种全自动硅片清洗机,其优点是可以让硅片与清洗液充分接触碰撞摩擦,提高硅片的清洗效果。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种全自动硅片清洗机,包括架体,架体内清洗层,清洗层内设有固定架,固定架内设有若干个清洗槽,清洗槽内设有摆放硅片的承接架,固定架上设有带动承接架摆动的驱动机构。
通过上述技术方案,先将清洗槽中放入清洗液,在将硅片放入到清洗槽中的承接架上,最后开启驱动机构,带动承接架摆动,让清洗液与硅片之间相互碰撞摩擦,进而使硅片清洗的更加干净。
本发明进一步设置为:驱动机构包括第三电机、转动杆、承接板、滑轨、滑板和L型提升臂,清洗槽两侧的固定架上固定有所述承接板,滑轨固定在承接板上,滑板滑动连接在滑轨上,L型提升臂长边深入到清洗槽中固定在承接架上,L型提升臂的短边固定在滑板的上表面上,转动杆设在清洗槽的一侧,转动杆固定在固定架上的轴承座内,承接杆的一端连接在第三电机上,承接杆的两端固定有带轮,清洗槽远离转动杆一端的两侧设有固定台,固定台上设有带轮,清洗槽两侧对应的带轮之间通过皮带连接,滑板侧壁上设有侧板,侧板上设有固定板,固定板将皮带压紧咋侧板的下表面上。
通过上述技术方案,当需要带动承接架左右摆动时,启动第二电机,第二电机带动连接杆运动,连接杆转动带动带轮转动,进而带动皮带转动,皮带运动就会带动侧板和滑板移动,进而就会带动承接架左右移动,进而使承接架上的硅片更好的与清洗液接触,提高硅片的清洗效果。
本发明进一步设置为:驱动机构可以同时带动一组清洗槽中的承接架上升和下降,动力机构包括导向座、固定在向座内导向杆、第一矩形板、第二矩形板、L型的提升臂、铰接部、第一异型铰接板、第二异型铰接板、长铰接柱、第一短铰接柱、第二短铰接柱、转动轴、第三电机、减速器和转动杆,固定架在与每组槽中的第一个清洗槽和最后一个清洗槽侧壁对应的位置设有固定板,第一个清洗槽两侧的固定板外表面上部设有两个平行的所述导向座,最后一个清洗槽两侧的固定板外表面上部设有两个平行所述导向座,导向杆设置在导向座内,导向杆的上端设有第一矩形板,导向杆的下端设有第二矩形板,第一矩形板的上表面分别设有承接件,L型的提升臂的长边固定在承接架上,L型的提升臂的短边固定在承接件上,铰接部设在固定板外表面的下端,铰接部上铰接有第一异型铰接板,第一异型铰接板上端铰接有与第一矩形板抵触的滚轮,长铰接柱铰接在第一异型铰接板的下部,长铰接柱将两个同一侧的第一异型铰接板连接在一起,第一固定板上的第一异型铰接柱下端设有两根铰接点,两根铰接点一上一下,长铰接柱铰接在上铰接点内,短铰接柱铰接在下端的铰接点上,转动杆转动连接第一个清洗槽前方的固定架上,第二异型铰接部铰接在转动杆的两端,第一短铰接柱水平铰接在第二异型铰接板的下部,第二短铰接柱水平铰接在第二异型铰接板的上部,第二短铰接柱的另一端与套接在减速器的输出轴上的转动件铰接,减速器与第三电机连接。
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