[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物在审
| 申请号： | 201711242425.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108345190A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 房淳洪;金佑逸;洪宪杓 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明涉及抗蚀剂剥离液组合物，更详细而言，涉及如下抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含：季铵盐化合物1～15重量％、非质子性极性有机溶剂20～60重量％、无机碱或其盐化合物0.01～1重量％、下述化学式1所表示的化合物1～20重量％、以及余量的水。下述化学式1中，R1～R3中的一个为碳原子数1～3的烷基胺，此时，R1～R3中的其余为氢。[化学式1] |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂剥离液 非质子性极性有机溶剂 季铵盐化合物 碳原子数 盐化合物 烷基胺 无机碱 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含：季铵盐化合物1～15重量％、非质子性极性有机溶剂20～60重量％、无机碱或其盐化合物0.01～1重量％、下述化学式1所表示的化合物1～20重量％、以及余量的水，化学式1![]()
所述化学式1中，R1～R3中的一个为碳原子数1～3的烷基胺，此时，R1～R3中的其余为氢。
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