[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含：

季铵盐化合物1～15重量％、

非质子性极性有机溶剂20～60重量％、

无机碱或其盐化合物0.01～1重量％、

下述化学式1所表示的化合物1～20重量％、以及

余量的水，

化学式1

所述化学式1中，R₁～R₃中的一个为碳原子数1～3的烷基胺，此时，R₁～R₃中的其余为氢。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述季铵盐化合物包含选自由四甲基氢氧化铵(TMAH)、四乙基氢氧化铵(TEAH)、四丙基氢氧化铵(TPAH)、四丁基氢氧化铵(TBAH)组成的组中的一种以上。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述非质子性极性有机溶剂包含选自由二甲亚砜、二乙亚砜、二丙亚砜、环丁砜、N-乙基甲酰胺、二乙基甲酰胺、二甲基丙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、2-吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、N-丙基吡咯烷酮、1-羟基乙基-2-吡咯烷酮、1-羟基丙基-2-吡咯烷酮及它们的混合物组成的组中的一种以上。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述无机碱或其盐化合物包含选自由氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硝酸钠、硝酸钾、硫酸钠、硫酸钾、硅酸钠、硅酸钾、乙酸钠、乙酸钾组成的组中的一种以上。

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述抗蚀剂剥离液组合物进一步包含不含羟基的亚烷基二醇烷基醚化合物或防腐蚀剂。

6.根据权利要求5所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于抗蚀剂剥离液组合物总重量％，所述亚烷基二醇烷基醚化合物的含量为1～20重量％。

7.根据权利要求5所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于抗蚀剂剥离液组合物总重量％，所述防腐蚀剂的含量为0.1～5重量％。