[发明专利]一种用于水平液相外延生长的石墨舟

摘要

本发明公开了一种用于水平液相外延生长的石墨舟，包括自下而上依次布置的底座、底板及滑块，所述底座上设有热偶放置孔，所述底板上设有基片放置槽，所述滑块上设有母液槽，所述底座两侧设有可拆卸的挡边，所述底板和所述滑块设于两所述挡边之间，所述挡边上设有用于将滑块压紧于所述底板上的压条。本发明具有结构简单、易于加工、使用方便、有利于降低母液残留等优点。

主权项

一种用于水平液相外延生长的石墨舟，包括自下而上依次布置的底座(1)、底板(2)及滑块(3)，其特征在于：所述底座(1)上设有热偶放置孔(11)，所述底板(2)上设有基片放置槽(21)，所述滑块(3)上设有母液槽(31)，所述底座(1)两侧设有可拆卸的挡边(12)，所述底板(2)和所述滑块(3)设于两所述挡边(12)之间，所述挡边(12)上设有用于将滑块(3)压紧于所述底板(2)上的压条(13)。