[发明专利]一种用于水平液相外延生长的石墨舟

权利要求书

1.一种用于水平液相外延生长的石墨舟，包括自下而上依次布置的底座(1)、底板(2)及滑块(3)，其特征在于：所述底座(1)上设有热偶放置孔(11)，所述底板(2)上设有基片放置槽(21)，所述滑块(3)上设有母液槽(31)，所述底座(1)两侧设有可拆卸的挡边(12)，所述底板(2)和所述滑块(3)设于两所述挡边(12)之间，所述挡边(12)上设有用于将滑块(3)压紧于所述底板(2)上的压条(13)。

2.根据权利要求1所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述母液槽(31)上设有补偿匀气盖板(32)，所述补偿匀气盖板(32)上设有多个均匀布置的补偿孔(321)，所述补偿匀气盖板(32)外周设有补偿槽(33)。

3.根据权利要求2所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述基片放置槽(21)内设置有调整垫片(14)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：两所述挡边(12)的底部通过连接板(15)相连，所述底板(2)位于所述连接板(15)上，所述挡边(12)与所述底座(1)之间通过螺钉销(7)相连。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述底板(2)包括基片放置板(22)以及位于基片放置板(22)下方的防粘连底板(23)，所述基片放置槽(21)设于所述基片放置板(22)上，所述基片放置板(22)、所述防粘连底板(23)以及所述底座(1)之间设有第一定位销(4)，所述第一定位销(4)上端低于或平齐于所述基片放置板(22)的上表面。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述底座(1)、所述底板(2)及所述滑块(3)之间设有用于定位所述滑块(3)初始位置的第二定位销(5)。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述底座(1)底部沿长度方向设有多个定位孔(16)。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述滑块(3)上设有用来与拉杆配合的腰型孔(34)。

9.根据权利要求8所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述滑块(3)上部设有盖板(6)。