[发明专利]一种太阳能电池扩散可调节式尾气装置

摘要

本发明公开了一种太阳能电池扩散可调节式尾气装置，包括尾气管、连接阀、冷凝瓶、过滤瓶、酸排管道和PVDF球阀，所述尾气管左端连接扩散炉，右端连接冷凝瓶左端，所述冷凝瓶右端通过尾气管连接过滤瓶左端，所述过滤瓶上端通过连接软管固定连接酸排管道左端，所述冷凝瓶左右两侧尾气管上均安装有连接阀，所述连接软管与酸排管道之间安装有PVDF球阀。该太阳能电池扩散可调节式尾气装置，便于调节控制，降低扩散异常返工风险，减少返工比例，降级酸排抽风量，优化扩散工艺，节约成本。

主权项

一种太阳能电池扩散可调节式尾气装置，包括尾气管（1）、连接阀（2）、冷凝瓶（3）、过滤瓶（5）、酸排管道（7）和PVDF球阀（6），其特征在于：所述尾气管（1）左端连接扩散炉，右端连接冷凝瓶（3）左端，所述冷凝瓶（3）右端通过尾气管（1）连接过滤瓶（5）左端，所述过滤瓶（5）上端通过连接软管（4）固定连接酸排管道（7）左端，所述冷凝瓶（3）左右两侧尾气管（1）上均安装有连接阀（2），所述连接软管（4）与酸排管道（7）之间安装有PVDF球阀（6）。