[发明专利]一种太阳能电池扩散可调节式尾气装置

说明书

技术领域

本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种太阳能电池扩散可调节式尾气装置。

背景技术

目前，多晶硅太阳能电池工艺已经日趋成熟，实现标准化生产，主要工艺步骤如下：酸腐蚀制绒→扩散制结→湿法刻蚀切边→PECVD镀减反射膜→丝网印刷→烧结→测试分选。其中，扩散是其中最核心步骤，为了减少扩散制结时“死层”厚度，且随着银浆浆料的革新，扩散逐渐采用低表面浓度浅结工艺，扩散时通入的三氯氧磷流量明显减少，尾气酸排风对扩散方阻均值及均匀性影响加大，导致扩散炉管间方阻均值差异明显，方阻片内和片间的不均匀性波动幅度较大。

因此，为了解决这个问题，在每根炉管尾气酸排管道上，加装一个PVDF球阀，使得每个炉管可以根据方阻均值及均匀性的实际情况，单独调整酸排抽风量，控制炉管腔体压力，保证炉管间方阻均值保持一致，且由于炉管腔体可以调节，方阻片内不均匀性得到明显优化，提升电池片转化效率、降低其效率异常波动。

发明内容

本发明的目的在于提供一种太阳能电池扩散可调节式尾气装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种太阳能电池扩散可调节式尾气装置，包括尾气管、连接阀、冷凝瓶、过滤瓶、酸排管道和PVDF球阀，所述尾气管左端连接扩散炉，右端连接冷凝瓶左端，所述冷凝瓶右端通过尾气管连接过滤瓶左端，所述过滤瓶上端通过连接软管固定连接酸排管道左端，所述冷凝瓶左右两侧尾气管上均安装有连接阀，所述连接软管与酸排管道之间安装有PVDF球阀。

优选的，所述尾气管为扩散石英尾气管，尾气管左端深入扩散炉的炉管炉口位置，尾气管的右端依次连接所述冷凝瓶和过滤瓶，

优选的，所述连接阀包括聚四氟乙烯垫片和金属球夹。

优选的，所述冷凝瓶为石英材料制成的扩散石英冷凝瓶。

优选的，所述过滤瓶为石英材料制成的扩散石英过滤瓶。

优选的，所述连接软管为扩散PVDF软管，连接过滤瓶和外围抽风管道。

本发明的技术效果和优点：该太阳能电池扩散可调节式尾气装置，通过在连接过滤瓶和外围抽风的软管上，加装一个耐高温抗腐蚀的PVDF球阀，通过调节这个球阀开度，控制该炉管尾气酸排抽风量，以及炉管的腔体压力，使之每个炉管都能单独调节控制，同时使得扩散酸排抽风大小从影响整个机台减小到逐个炉管，降低扩散方阻异常返工风险，减少返工产生比例。并且每根炉管可以根据该炉管扩散方阻均值大小和方阻片内、片间不均匀性好坏，来调节尾气排风的球阀开度，方阻均值异常偏大，关小尾气球阀开度，方阻均值异常偏小，开大尾气球阀开度，这样就使得方阻优化变得更可控、操作更容易，同时，每个炉管加装可调节尾气球阀后，酸排抽风量较之加装前明显变小，优化扩散工艺，使得运行时通入的三氯氧磷流量明显减少，大大节约生产成本。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的PVDF球阀结构示意图。

图中：1尾气管、2连接阀、3冷凝瓶、4连接软管、5过滤瓶、6PVDF球阀、7酸排管道。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供了如图1-2所示的一种太阳能电池扩散可调节式尾气装置，包括尾气管1、连接阀2、冷凝瓶3、过滤瓶5、酸排管道7和PVDF球阀6，所述尾气管1左端连接扩散炉，右端连接冷凝瓶3左端，所述冷凝瓶3右端通过尾气管1连接过滤瓶5左端，所述过滤瓶5上端通过连接软管4固定连接酸排管道7左端，所述冷凝瓶3左右两侧尾气管1上均安装有连接阀2，所述连接软管4与酸排管道7之间安装有PVDF球阀6。

进一步的，所述尾气管1为扩散石英尾气管，尾气管1左端深入扩散炉的炉管炉口位置，尾气管1的右端依次连接所述冷凝瓶3和过滤瓶5，

进一步的，所述连接阀2包括聚四氟乙烯垫片和金属球夹，主要用于尾气各部分装置连接。

进一步的，所述冷凝瓶3为石英材料制成的扩散石英冷凝瓶，主要用于收集扩散尾气抽出冷凝所产生的偏磷酸。

进一步的，所述过滤瓶5为石英材料制成的扩散石英过滤瓶5，主要用于过滤尾气中的偏磷酸。