[发明专利]银/氯化银参比电极及其制作方法有效
申请号: | 201711228406.5 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN107941876B | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 金庆辉;张赞;尹加文;简家文 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | G01N27/30 | 分类号: | G01N27/30 |
代理公司: | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 | 代理人: | 陈其明 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 提供一种Ag/AgCl参比电极及其制作方法,其玻璃基片(5)上设置有铂电极引线(4),在其末端段设置有银/氯化银电极层(2);玻璃基片(5)上面以与其键合的方式覆盖硅基片(1);硅基片(1)设置有向下开口至少包容银/氯化银电极层(2)的空腔,与玻璃基片(5)形成用于储存氯化钾饱和溶液的储液腔(7),储液腔(7)顶壁设置采用湿法腐蚀刻蚀出的多个外壁孔径大内壁孔径小的纳米级锥形微孔(3),形成锥形微孔(3)阵列,每个锥形微孔(3)作为与外界待测物相接触进行双方离子交换的纳米通道;玻璃基片(5)设置有注液孔(12),并配置有密封胶(8);其纳米孔阵列使离子交换速率大大降低,可显著提高氯化钾饱和溶液的使用时间与参比电极的使用寿命,其制作方法基于微纳加工工艺,可与其他电极集成制造,实现整个检测传感器的微型化。 | ||
搜索关键词: | 氯化银 参比电极 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种银/氯化银参比电极,包括可与硅片键合的Pyrex 7740玻璃基片(5),其特征在于,所述玻璃基片(5)上表面设置有铂电极引线(4),在铂电极引线(4)末端段的上表面设置有银/氯化银电极层(2);玻璃基片(5)上面以与其键合的方式覆盖有表面为(100)晶面、双面抛光并氧化的硅基片(1),二者键合形成一体;所述硅基片(1)设置有向下开口至少包容所述银/氯化银电极层(2)的空腔,与所述玻璃基片(5)形成用于储存氯化钾饱和溶液的储液腔(7),储液腔(7)顶壁设置采用湿法腐蚀刻蚀出的多个外壁孔径大内壁孔径小的纳米级锥形微孔(3),形成锥形微孔(3)阵列,每个锥形微孔(3)作为与外界待测物相接触进行双方离子交换的纳米通道;所述玻璃基片(5)设置有与所述储液腔(7)相通的用于向所述储液腔(7)注入氯化钾饱和溶液的注液孔(12),并配置有用于封装所述注液孔(12)的密封胶(8)。
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