[发明专利]硅片烧结炉在审
| 申请号： | 201711218259.3 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN107990678A | 公开（公告）日： | 2018-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈五奎;刘强;任超 | 申请（专利权）人： | 乐山新天源太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/04 | 分类号： | F26B15/04;F26B21/06;F26B21/10 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232 | 代理人： | 李玉兴 |
| 地址： | 614000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能够便于烘干炉区内烘干气流流动的硅片烧结炉。该硅片烧结炉，包括烘干炉区、烧结炉区、冷却炉区以及输送装置，所述烘干炉区包括炉体，所述炉体具有烘干炉腔，所述烘干炉腔顶部设置有连通烘干炉腔的抽气装置；所述炉体的侧壁上设置有连通烘干炉腔的入气管，所述入气管在炉体的侧面上沿长度方向均匀分布；所述入气管在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置上表面的上方，另一部分位于输送装置上表面的下方；所述炉体顶部设置有空气加热鼓风装置，所述空气加热鼓风装置具有的出风口通过连通管道与入气管连通，所述空气加热鼓风装置具有的进风口设置有空气过滤装置。采用该硅片烧结炉能够对烘干气流进行优化，提高烘干效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 烧结炉 | ||
【主权项】：
硅片烧结炉，包括烘干炉区(1)、烧结炉区(2)、冷却炉区(3)以及输送装置(4)，其特征在于：所述烘干炉区(1)包括炉体(11)，所述炉体(11)具有烘干炉腔，所述烘干炉腔顶部设置有连通烘干炉腔的抽气装置(15)；所述炉体(11)的侧壁上设置有连通烘干炉腔的入气管(12)，所述入气管(12)在炉体(11)的侧面上沿长度方向均匀分布；所述入气管(12)在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置(4)上表面的上方，另一部分位于输送装置(4)上表面的下方；所述炉体(11)顶部设置有空气加热鼓风装置(13)，所述空气加热鼓风装置(13)具有的出风口通过连通管道(17)与入气管(12)连通，所述空气加热鼓风装置(13)具有的进风口设置有空气过滤装置(14)。
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